1 北京市劳动保护科学研究所, 北京 100054
2 中国科学院 电子学研究所, 北京 100190
为了分离永久性气体及低碳轻化合物, 基于MEMS技术, 研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比, 色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术, 这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道, 这是其他化学腐蚀技术无法比拟的。研制的色谱柱其沟道横截面为1.2 mm(深度)×0.6 mm(宽度), 深宽比为2∶1。实验结果表明, 这种微型填充柱, 具有较大的样品容量, 能很好的实现CO和SO2的分离。
微型填充式气相色谱柱 微型色谱系统 分离效率 样品容量 micro packed gas chromatography column micro gas chromatography system separation efficiency sample capacity 强激光与粒子束
2016, 28(6): 064122
