根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型，对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术，在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜，研究了基片、表面厚度、离子束能量及镀后热处理对Ir膜反射率的影响，在波长120 nm处获得了近30％正入射反射率.

中国科技大学国家同步辐射实验室“光谱辐射标准与计量实验站”上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性, 在大量实验数据的基础上, 结合必要的理论推导, 对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析, 确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等。总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式, 定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响, 针对性地提出了应对办法, 把测试误差控制在2％以内, 从而有效地保证了测试精度。

Ir是一种重要的真空紫外反射材料,在太阳物理、宇宙物理、生命科学、大气物理、同步辐射等方面有着十分重要的应用。对电子束蒸发沉积Ir膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的理论和实验研究。根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算。根据计算和前期实验结果,采用电子束蒸发方法,在石英、K9玻璃基片上沉积了不同厚度的Ir膜,在入射波长120 nm处获得了近30％正入射反射率,对应的Ir膜厚度为12 nm。过厚或过薄均不利于Ir膜反射率的提高。经退火处理后,Ir膜中张应力有所释放但并未消除,同时晶粒平均尺寸显著增大,反射率下降。

采用离子束溅射法,分别在经过不同前期清洗方法处理过的K9及石英玻璃光学基片上,选择不同的镀膜参量,镀制了多种厚度的Au膜。对镀制的Au膜在真空紫外波段较宽波长范围内的反射率进行了连续测量。测试结果表明：辅助离子源的使用方式、Au膜厚度对反射镜的反射率有重大影响。基片材料、镀前基片表面清洗工艺等对反射率也有一定影响。采用镀前离子轰击,可显著提高Au膜反射率及膜与基底的粘合力;获得最高反射率时的最佳膜厚与基片材料、镀膜工艺密切相关。对经过离子清洗的石英基片,膜厚在30 nm左右反射率最高;比较而言,石英基片可获得更高的反射率;辅助离子源的使用还显著影响获得最高反射率时对应的最佳膜厚值,且对K9基片的影响更显著。