作者单位
摘要
华中科技大学机械科学与工程学院, 湖北 武汉 430074
同步相移干涉技术通过同时获取多幅相移干涉图, 实现动态波面的相移干涉测量。为了保证测量精度, 在实施相移算法前, 需要对相移干涉图进行准确的位置配准。提出了一种结合加速稳健特征(SURF)提取算法和随机采样一致性(RANSAC)算法的多步干涉图位置配准方法, 通过配准具有一定特征的干涉背景图, 获得图像之间的变换关系并作用于相移干涉图, 实现同步相移干涉图位置配准。仿真分析表明, 该方法在光强不均的情况下对平移和旋转变换均具有较好的校准效果; 在含有高斯白噪声的情况下, 仍能进行配准获得变换矩阵, 完成相位恢复。将此方法应用于四步同步相移显微干涉测量仪对标准平面进行测量, 得到测量结果峰谷值为23.2520 nm, 均方根值为2.3149 nm。
测量 同步相移干涉 位置配准 加速稳健特征提取算法 随机采样一致性算法 
光学学报
2017, 37(10): 1012002
作者单位
摘要
华中科技大学 机械科学与工程学院, 武汉 430074
提出一种垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟方法。该方法考虑到白光光源光谱分布及垂直扫描干涉系统对白光干涉信号的影响, 通过正弦函数多项式拟合的方式减少模拟算法的运算量, 消除了现有方法中数值积分运算量大, 不便于实际分析的缺点。采用白光LED作为光源, 用该方法对白光干涉信号进行模拟分析, 并用直接数值积分信号模拟结果与白光干涉垂直扫描测量装置获得的实测信号进行对比, 验证了该方法的准确性。
光学测量 白光干涉 信号模拟 正弦函数 optical measurement white light interference signal modeling sin functions 
光学技术
2013, 39(3): 195

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