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同名作者【吕梁晴】论文列表

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研究论文

InSb红外探测器组件的无输出问题研究

李忠贺 ^*吕梁晴李海燕牟宏山 [ ... ]李春领

作者单位

摘要

华北光电技术研究所，北京 100015

研究了InSb红外探测器组件的无输出问题。通过故障分析确定探测器的失效部件为InSb芯片。结合器件结构和工艺，对InSb器件的失效机理进行了研究。发现器件在去胶工艺中有光刻胶残留，在后续的钝化工艺中会生成难以腐蚀去除的沾污层，导致电极膜层存在可靠性隐患。经历高温、振动等环境试验后电极浮起，导致了探测器组件的无输出问题。