江苏大学机械工程学院激光技术研究所, 江苏 镇江 212013
在所构建的纳秒脉冲激光电化学复合加工(LECM)系统中，利用激光辐照和脉冲电化学复合加工的方法，在相同的工艺参数下，分别对304不锈钢、7075铝合金、1060纯铝等金属和脆性材料硅进行了加工试验。探讨了激光热力效应促进电化学加工的机理，并对不同金属材料的极化曲线进行了测量。通过扫描电子显微镜(SEM)对比分析了不同材料复合加工表面的微观形貌；并通过超景深三维显微镜对不同材料的加工深度、宽度与深宽比进行了分析。试验结果表明，在激光热力作用下，铝合金的电化学刻蚀质量和表面形貌较好，且可以加工出深宽比较大的微结构；脆性材料则存在微颗粒的冲击崩离。
激光技术 激光电化学 热力效应 极化曲线 加工形貌
