江苏大学机械工程学院激光技术研究所，江苏 镇江 212013
脉冲激光电化学复合沉积利用激光的热力冲击效应可以有效提高沉积效率，改善加工质量。在所构建的纳秒脉冲激光电化学沉积加工系统中，利用激光辐照和电化学沉积的方法对铜进行了复合沉积试验。分析了激光的热力冲击效应对电沉积的作用机理，激光产生的力效应使阴极基片发生弹性变形，改变了电极电势和电流密度，提高了电沉积质量。通过加工试验，研究了激光平均功率密度对沉积质量和沉积效率的影响，并进行了讨论。试验结果表明，激光平均功率密度介于100~400 kW/cm2时可以获得较好的沉积层质量。激光平均功率密度在200 kW/cm2左右，沉积速率取得最大值。
脉冲激光 热力冲击 电沉积 复合加工 pulse laser thermal shock electro-deposition coupling processing
江苏大学机械工程学院激光技术研究所, 江苏 镇江 212013
在所构建的纳秒脉冲激光电化学复合加工(LECM)系统中，利用激光辐照和脉冲电化学复合加工的方法，在相同的工艺参数下，分别对304不锈钢、7075铝合金、1060纯铝等金属和脆性材料硅进行了加工试验。探讨了激光热力效应促进电化学加工的机理，并对不同金属材料的极化曲线进行了测量。通过扫描电子显微镜(SEM)对比分析了不同材料复合加工表面的微观形貌；并通过超景深三维显微镜对不同材料的加工深度、宽度与深宽比进行了分析。试验结果表明，在激光热力作用下，铝合金的电化学刻蚀质量和表面形貌较好，且可以加工出深宽比较大的微结构；脆性材料则存在微颗粒的冲击崩离。
激光技术 激光电化学 热力效应 极化曲线 加工形貌
