作者单位
摘要
中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
未来极紫外光刻技术的发展亟需更高功率的光刻光源,能量回收型自由电子激光光源可以实现千瓦量级以上的功率输出,是一种极具潜力的高功率极紫外光刻光源。主要介绍了高功率能量回收型自由电子激光光源的工作原理、发展现状以及所面临的关键技术挑战。
激光光学 极紫外光刻 能量回收型直线加速器 自由电子激光 光阴极注入器 超导加速器 
中国激光
2024, 51(7): 0701007
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
2 哈尔滨工程大学 核科学与技术学院,哈尔滨 150001
3 南华大学 核科学技术学院,湖南 衡阳 421001
4 中玖闪光医疗科技有限公司,四川 绵阳 621000
5 中国工程物理研究院,四川 绵阳 621900
报道了基于常温射频直线加速器建成的10 MeV光子FLASH放疗射线源样机,采用高平均电流电子束轰击高速旋转辐射转化靶,在距离靶点1 m远处的固体水模内,X射线剂量率达到80.5 Gy/s,达到未来临床实验与推广所需剂量率阈值。
FLASH放疗 超高剂量率 医用直线加速器 X射线源 flash radiotherapy ultrahigh dose rate linac X-ray source 
强激光与粒子束
2023, 35(12): 124009
作者单位
摘要
中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
中国工程物理研究院红外太赫兹自由电子激光装置是一台用于材料、光谱、生物、医学等领域前沿研究的多功能用户装置,在实验室现有的太赫兹自由电子激光装置(CTFEL)基础上,拟新增两套2×9-cell超导加速单元和两台波荡器,将电子能量提升至最大50 MeV,输出频率覆盖范围拓展至0.1~125 THz,最大宏脉冲功率大于100 W。同时,采用跑道型束线设计,拟建设一台小型能量回收型直线加速器实验研究平台。本文主要介绍了中国工程物理研究院红外太赫兹自由电子激光装置的总体设计、工作模式以及用户实验站布局。
激光器 自由电子激光 红外太赫兹 超导加速器 波荡器 能量回收型直线加速器 
中国激光
2023, 50(17): 1718001
作者单位
摘要
1 暨南大学光电信息与传感技术广东普通高校重点实验室,广东 广州 510632
2 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,陕西 西安 710119
3 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
4 广东工业大学广东省信息物理融合系统重点实验室,广东 广州 510006
5 季华实验室,广东 佛山 528200
太赫兹调制器作为太赫兹技术应用的重要器件之一,在太赫兹通信、成像和传感等领域具有广泛应用前景。但是目前太赫兹调制器调制深度、工作带宽、稳定性等有待提升,这制约了太赫兹技术的进一步推广与发展。基于此,设计并制备了一种新型光控砷化镓/侧边抛磨太赫兹光纤(SPTF)调制器,将砷化镓转移到太赫兹光纤抛磨区,增强太赫兹波倏逝场与砷化镓相互作用。在外置808 nm激光器照射下实现对太赫兹波幅度调制,调制深度达到97.4%。实验结果表明,这种新型的光纤调制器具有较好的光控调制效果。同时,该器件体积小、集成度高,具有广泛应用的潜力。
太赫兹调制器 侧边抛磨光纤 砷化镓 光控 调制深度 
激光与光电子学进展
2023, 60(18): 1811003
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
2 中国科学院 高能物理研究所,北京 100049
3 中国科学院 福建物质结构研究所,福州 350002
4 中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900
5 中国工程物理研究院 材料研究所,四川 绵阳 621907
6 湖北三江航天江河化工科技有限公司,湖北 宜昌 444200
7 中国工程物理研究院,四川 绵阳 621900
报道了基于光阴极S波段电子直线加速器建成的9 MeV高能微焦点射线成像系统“精卫”,X射线束横向尺寸小于100 μm,7 h剂量波动低至1.6%。初步开展成像实验结果表明:双丝像质计清晰分辨13D号丝,丝直径0.05 mm,CT测试卡测得空间分辨率优于10 lp/mm,装置同时兼容电子束能量6~18 MeV可调。
高能微焦点X射线源 高能工业CT 直线加速器 光阴极 high-energy micro-focus X-ray source high-energy industrial CT linac photocathode 
强激光与粒子束
2022, 34(12): 124001
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
中国工程物理研究院太赫兹自由电子激光装置(CAEP THz FEL, CTFEL)是国内唯一运行的基于超导加速器的高平均功率自由电子激光太赫兹源,具有频率连续在线可调(0.1~4.2 THz)、高峰值功率(>0.5 MW)、高平均功率(>10 W)、高重频(54.17 MHz)、短脉冲(~ps)、窄线宽(~2%)、全相干和线性偏振等特点。自2017年出光以来,已稳定运行了四年多,并开展了诸多应用实验研究。为进一步满足用户需求,CTFEL计划升级为一台红外太赫兹自由电子激光装置,电子束能量提升至最大50 MeV,频谱范围拓展至0.1~125 THz,同时,建设材料光谱和生物医学两个实验站。
自由电子激光 太赫兹 红外 超导加速器 用户实验站 free electron laser terahertz infrared superconducting accelerator user experimental station 
强激光与粒子束
2022, 34(10): 104013
窦玉焕 1束小建 1吴岱 2,*徐勇 2[ ... ]黎明 2
作者单位
摘要
1 北京应用物理与计算数学研究所,北京 100094
2 中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
针对中物院高功率太赫兹自由电子激光(THz FEL)装置,结合FEL光腔振荡器实验的实际情况,提出了全波导近共心谐振腔设计方案。完成了THz波段波导光腔对光腔品质影响的理论分析和模拟计算,确定了波导设计尺寸为14 mm和22 mm。同时针对最初实验调试过程中无法出光饱和的问题,提出将波导更换为22 mm大尺寸波导的建议,波导更换后很快在2.56 THz获得饱和出光。另外针对实验频段无法覆盖到1~2 THz的问题,我们通过波导内壁粗糙度进行分析判断,提出采用14 mm铜材质的全波导FEL振荡器的设计方案,采用该方案后,实验成功将辐射频段拓展到0.7~4.2 THz,获得饱和输出。
自由电子激光 太赫兹 光腔 波导 理论设计 free-electron laser (FEL) terahertz optical resonator waveguide numerical simulations 
强激光与粒子束
2022, 34(3): 031013
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621999
研究了一种用于中国工程物理研究院太赫兹自由电子激光装置(CTFEL)输出的太赫兹的单脉冲选择方法,以满足一些对太赫兹脉冲的时间分辨率和峰值强度提出较高要求同时要保证较低平均功率的实验的需要。利用自诱导等离子体开关技术,太赫兹能够被短脉冲激光打靶产生的等离子体镜反射,从而使等离子体镜可以作为门控开关,选出单个太赫兹微脉冲。通过理论分析计算出等离子体临界密度和激光功率密度阈值,采用辐射流体模拟软件对激光打靶过程进行数值模拟。模拟结果表明,激光激发出的等离子体密度远大于临界密度。由此证明了实验的可行性,进而给出实验所需装置的参数指标以及实验光路设计。
太赫兹 自由电子激光 等离子体镜 太赫兹开关 单脉冲选择 terahertz Free Electron Laser(FEL) plasma mirror terahertz switch single-pulse picking 
太赫兹科学与电子信息学报
2020, 18(6): 957
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
密度高、成像分辨率高、成像速度快的X射线数字成像检测需要高能微焦点大剂量X射线源,高品质电子源是实现这一X射线源的关键手段。基于中国工程物理研究院太赫兹自由电子激光的主加速器,验证了低发射度、低能散度的高亮度电子束实现高能微焦点的可行性,得到电子束半高全宽尺寸小于70 μm的9 MeV微焦点,并初步开展成像实验,双丝像质计焦斑清晰分辨9D号丝,丝直径0.13 mm。
微焦点 高能X射线源 高亮度电子源 自由电子激光 高能工业CT micro focus high energy X-ray source high brightness electron source free electron laser high energy industrial CT 
强激光与粒子束
2020, 32(5): 054001
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 四川 绵阳 621900
2 四川省国防科技工业办公室, 成都 610051
3 北京应用物理与计算数学研究所, 北京 100094
4 北京大学 重离子物理研究所, 北京100871
5 清华大学 工程物理系, 北京 100084
中国工程物理研究院基于超导射频直线加速器的谐振腔型太赫兹自由电子激光(CTFEL)于2017年8月29日16时首次饱和出光,并稳定运行,中心频率2.56 THz,谱宽1.9%,宏脉冲平均功率大于5.7 W。
自由电子激光 太赫兹 光阴极直流高压电子枪 射频超导加速器 平面型波荡器 free electron laser oscillator Terahertz photocathode high-voltage DC electron gun superconducting RF linac planar undulator 
强激光与粒子束
2017, 29(10): 100101

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