1 光电成像技术与系统教育部重点实验室，北京 100081
2 北京理工大学 光电学院，北京 100081
基于光电传感器的低慢小无人机探测系统能够快速准确地发现并识别无人机目标，但远距离非合作无人机目标在图像中像素比重过小，特征退化较明显，使识别率大大降低。图像超分辨技术能够从低分辨率目标图像区域中获得高分辨率图像并恢复更多的细节特征，现有超分辨技术很难在保证推理速度的前提下兼容图像的高低频特征，因此为了满足探测系统的需求，基于FSRCNN（fast super-resolution convolutional neural network）的特征提取与非线性映射网络结构并结合多尺度融合，提出一种包含4分支的轻量级多尺度融合超分辨率网络，能够在超分辨率图形中兼容高低频图像信息，且参数量较低，实时性高。经实验结果表明，该算法能够更加快速高效地重建出高分辨率的无人机轮廓与细节；在YOLOV3检测效果的实验中，该算法能够使无人机检测置信度平均提升6.72%，具备较高的实际应用价值。
无人机探测系统 轻量级 多尺度融合 超分辨率 unmanned aerial vehicle detection system lightweight multi-scale fusion super-resolution
1 中国科学院微电子研究所,北京 100029
2 中国工程物理研究院 激光聚变中心,四川 绵阳 621900
对利用X 射线光刻制作大高宽比硬X 射线波带片的设计和制作工艺进行了研究。采用电子束光刻制作X射线光刻掩模,并利用X 射线光刻制作最终的硬X 射线波带片。采用对光刻胶结构加入支撑点的方法,大大提高了X 射线光刻制作硬X 射线波带片的高宽比。对所加入支撑点的布置策略进行了优化,使得支撑点所占的面积比例减小。所制作的波带片最外环宽度为200 nm,厚度为2.8 μm,具有优良的结构质量,预期可用于10 keV 到25 keV波段,并具有优于250 nm 的成像分辨率。
大高宽比 X 射线波带片 X 射线光刻 衍射效率 high aspect-ratio X-ray zone plates X-ray lithography diffraction efficiency
1 安徽大学 电子科学与技术学院，合肥 230039；中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成实验室，北京 100029
2 安徽大学 电子科学与技术学院，合肥 230039
3 中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成实验室，北京 100029
对光子筛的结构进行了优化设计，通过实验研究了光子筛对355 nm 激光的聚焦特性，并与传统的聚焦元件波带片进行了比较。首先，使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序，优化设计了光子筛图形；制作了特征尺寸为2 μm、适用于355 nm 激光的聚焦光子筛和波带片；搭建了聚焦光斑的测试光路系统，得到了光子筛和波带片对355 nm 激光的聚焦光斑。通过比较分析，得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论。
衍射光学 光子筛 波带片 聚焦特性 旁瓣抑制 diffraction optics photon sieve zone plate focusing characteristics side lobe suppression
