作者单位
摘要
南开大学 电子信息与光学工程学院,天津 300350
采用从头算分子动力学研究在不同温度(300?K,700?K,1?000?K,1?200?K)下氢原子在α-石英中的扩散机制,根据爱因斯坦方程计算氢原子的扩散前项因子D0(7.72×10-4?cm2/s)和活化能(0.078?eV)。研究结果表明,氢原子在α-石英中的扩散路径有2种。低温下氢原子主要在由硅和氧原子组成的腔中做随机运动,直到跨过一个环到另外一个腔。同时研究温度在1?500?K时氢原子的扩散,氢在周围的3 个氧原子之间发生跳跃,导致扩散过程中出现了3种缺陷结构,缺陷结构之间可以相互转化。本文研究在微电子器件可靠性分析等方面有应用价值。
α-石英 氢原子 从头算分子动力学 扩散系数 活化能 α-quartz hydrogen atom Ab Initio Molecular Dynamics diffusivity activation energy 
太赫兹科学与电子信息学报
2020, 18(2): 325

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