飞机是一个非线性且各通道间存在耦合的系统。在辨识领域用得较为广泛的单通道时域和频率辨识都不能得到满意的用于实践的模型,而CIFER(Comprehensive Identification From Frequency Response)采用先进的线性调频Z变换(Chirp Z-Transform)、多输入处理以及组合窗技术,能有效滤除各种干扰的影响、克服单通道辨识中忽略通道之间作用的缺陷,最终得到满意的能用于操作性能提升、飞机模拟仿真以及控制系统设计的飞机系统多输入多输出线性模型。此外,通过该线性模型,可以借助物理结构得到相应的飞机物理参数。
飞机系统 系统辨识 多输入多输出模型 aircraft system system identification CIFER CIFER MIMO model
1 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所,上海 200050
2 中国科学院 研究生院,北京100039
3 上海交通大学 激光与生物医学研究所,上海 200030
为了实现电极位点与靶细胞的良好接触,改善刺激效果,同时保证刺激电极的自身安全,提出了一种具有圆滑外形的丘形柔性神经刺激微电极阵列。以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,利用光刻和金属层图形化结合电镀工艺,制作了6×6丘形柔性神经刺激微电极阵列,每个电极位点底面直径为150 μm,高度约为50 μm。通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。实验结果表明:相对于传统的平面微电极阵列(具有相同底面积),三维丘形电极位点的阻抗(@1kHz)降低了约4倍,可实现更有效的刺激;而相对于塔形电极,丘形电极则具有更均匀的表面电流密度分布,保证了电极长期工作的安全性。
刺激电极 丘形柔性电极 微电极阵列 电流密度 stimulation electrode dome-shaped flexible electrode microeletrode array current density
1 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所,上海 200050
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
3 上海交通大学 激光与生物医学研究所,上海 200030
提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法。该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。利用上述方法制备了具有4×4电极位点阵列的三维柔性神经微电极,每个电极位点大小为60μm×60μm,高度约37μm。阻抗测试显示,1 kHz时三维凸起电极位点的阻抗比传统的相同大小的平面微电极阵列约降低63%。结果表明,该电极的凸起特点可以保证电极刺激位点与神经细胞的良好接触,同时凸起结构也增加了电极刺激位点的表面积,改善了电极刺激位点的电荷注入能力,可有效提高刺激效果。
人工视觉 三维柔性电极 微电极阵列 电极表面积 artificial vision three-dimensional flexible electrode Microelctrode Array(MEA) surface area of electrode
1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
2 中国科学院研究生院,北京,100039
3 上海交通大学激光与生物医学研究所,上海,200030
提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法.该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放.整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积.测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期.
柔性微电极 神经假体 聚酰亚胺 凹槽结构 牺牲层
