1 南京理工大学电子工程与光电技术学院，江苏 南京 210094
2 上海市计量测试技术研究院，上海 201203
干涉测试是一种高精度的表面形貌无损测量方法。通常情况下，单色光干涉测试以激光作为光源，采用缩小成像方案测量表面面形。宽带光干涉测试能够有效避免单色光干涉测试时的2π相位模糊问题，常与显微成像技术相结合，测量阶跃型结构的表面微观形貌。当阶跃型结构样品的横向尺寸较大时，宽带光显微测试需要采用拼接手段，降低了测量效率。本文提出了一种缩小成像的宽带光干涉仪，该仪器可用于大尺寸阶跃型表面的形貌测量，其工作波段为480~750 nm，采用1 inch探测器形成了47.60 mm×35.76 mm的测量视场。系统组成包括照明准直镜、干涉腔和成像镜。照明准直镜采用科勒照明方案，可以提供数值孔径NA=0.015、视场直径Φ=59.6 mm的均匀照明物方视场；干涉腔集合了Mirau型等光程干涉与Fizeau型无中心遮拦的优势，由倾斜1.5°的分光平板和倾斜3°的参考平板组成；成像镜与准直镜形成双远心成像光路，成像放大率为0.25×，在宽谱段范围内的畸变校正达到0.24%。采用构建完成的宽带光干涉仪测试了USAF1951分辨率板，系统分辨率可达14 lp/mm；测试了校准高度分别为7.805 μm和46.554 μm的台阶板，对阶跃型结构测量的高度偏差优于0.4%。
测量 形貌干涉测量 宽带光 大视场 光学设计 中国激光
2023, 50(18): 1804001
微纳尺度的微结构可调制光场，提高传感器的灵敏度，是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展，对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了国内外行业发展中出现的微结构种类、型式，围绕具有高精度无损检测特质的光学显微技术，阐述了国内外仍在继续发展的微结构无损检测四种主流方法，分析了这些方法的技术特点、适用对象，给出了典型样品的检测结果，其中部分结果是首次发表。结果表明，暗场显微机器视觉法，是振幅型颗粒、凹坑、划痕等有害微结构的有效检测方法，可以实现大尺度样品的快速检测；共焦显微成像和低相干显微干涉法是“相位”型微结构的最佳检测方法，可以得到微结构的三维形貌；光谱反演-过焦扫描法与近红外显微干涉法，是应高深宽比微结构无损检测需求而发展起来的新方法，前者可以快速测得线宽和深度，后者可以测得物镜视场范围内高深宽比微结构的三维形貌，二者可以相互验证与补充。
1 江西师范大学 物理与通信电子学院，南昌 330022
2 南昌师范学院 物理系,南昌330022
为得到高准确度的小球藻浓度,利用空芯金属包覆波导作为测量腔对小球藻进行测量.利用自由空间耦合技术激发含有小球藻溶液的空芯金属包覆波导中超高阶导模，通过检测超高阶导模的衰减全反射吸收峰位置和反射极小值Rmin的变化，实现了小球藻溶液浓度和吸收系数的同时测量.该方法不仅可检测10－9 mol量级的小球藻浓度，而且具有测量成本低、操作方便等优点.
小球藻 高阶导模 空芯金属包覆波导 吸收系数 Chlorella Ultrahigh order modes Hollowcore metalcladding waveguide absorption coefficients
江西师范大学 物理与通信电子学院，南昌 330027
通过研究两全同原子初始处于最大纠缠态，光场处于单模时的原子纠缠动力学及Tavis-Cummings模型（TC模型），分析了在TC模型全同原子系统的Hamilton量中加入Stark位移时对原子纠缠的退相干时间的影响.结果表明：不考虑Stark位移时两原子在系统演化过程中周期性地出现退纠缠现象；考虑Stark位移时，两全同原子长时间地纠缠.
量子光学 两全同原子 TavisCummings模型 Stark位移 原子纠缠 Quantum optics Two identity atoms TavisCummings model Stark shift Atomic entanglement
本文报导一种匀化光强的方法.根据光束在锗平片中折射产生偏移的原理,用一旋转锗平片使光束旋转,就可以达到匀化的目的.文内分析了平均强度分布与偏移距离等参量的关系,并对理论分析用电子计算机处理所得数据与实验测试进行比较,取得较为一致的结果.
