1 天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津 300072
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基于薄膜铌酸锂干法刻蚀工艺不能获得高垂直度截面的特点，设计了一种基于折射率相近的填充材料作为模斑转换结构。所设计结构可兼容不同尺寸的输出光斑且整体结构的转换效率大于-0.28 dB。所提方案避免了薄膜铌酸锂干法刻蚀后的大倾角断面直接作为耦合端面时性能低的劣势，可提升薄膜铌酸锂电光调制器件在片上集成激光芯片的性能。三维模拟结果显示该结构对工艺误差不敏感、加工可行性高，为减小集成器件体积、降低成本及高密度集成提供可行方案。
薄膜 铌酸锂 片上集成 倒装焊 模斑转换 光学学报
2023, 43(23): 2331001
哈尔滨工业大学光电子技术研究所, 哈尔滨 150001
实验观察到一种新的离子准分子──氟化氪离子准分子产生的真空紫外连续谱辐射,其峰值位于１48nm处。实验结果与理论计算值符合很好。
离子准分子 真空紫外辐射 激光等离子体
哈尔滨工业大学光电子技术研究所, 哈尔滨 150001
利用激光等离子体软X射线为激励源，首次观察到离子性氟化氩准分子在125 nm附近的真空紫外辐射，其实验结果与理论计算值符合很好。
离子准分子 真空紫外辐射 激光等离子体
哈尔滨工业大学光电子技术研究所, 哈尔滨 150001
利用激光等离子体软X射线激励,观察到了一种新型离子准分子──KrF离子准分子的真空紫外连续谱,其辐射中心波长位于148 nm附近。并在实验和理论上对其动力学过程进行分析。
离子准分子 真空紫外激光 激光等离子体
哈尔滨工业大学光电子技术研究所, 哈尔滨 150001
本文叙述了利用准分于紫外激光打靶产生的软X射线激励(LPX)所观察到的Ar中抖动(Shake-up)现象.对Ar+3p44p与下能态跃迁产生的68条谱线进行了识别,标定,除两条谱线没观察到外,其余所有可能产生的跃迁谱线都已被观察到.
抖动现象 LPX激励
