中北大学电子测试技术国防重点实验室, 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西 太原 030051
光电标识是完成识别和搜救任务的“眼睛”。作为 “眼睛”核心组成器件, MEMS红外光源的工作稳定性对标识效果具有最直接的影响, 而 MEMS红外光源的工作稳定性取决于辐射薄膜的热稳定性, 表现为辐射体薄膜结构工作电阻的动态变化趋势。为此通过开展 MEMS红外光源电阻特性研究对于深入探索光电标识装置的标识特性意义重大。采用阻抗分析仪进行测试, 结果表明 MEMS红外光源长时间工作下其本征电阻值变化量仅为 0.4%, 热稳定性良好；在可承受驱动电压范围内, 光源的动态电阻随电压的变化无明显偏移, 薄膜表面形貌变化正常, MEMS红外光源整体结构工作稳定。
MEMS红外光源 热稳定性 动态电阻 薄膜形貌 MEMS infrared source thermal stability dynamic resistance film morphology
中北大学电子测试技术国防重点实验室, 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西 太原 030051
红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键, 准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对 MEMS红外光源设计 CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜, 使红外光线收敛呈准直辐射; 由 MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径 r＝6.48 mm, 透镜焦距 f＝7.2 mm, 透镜厚度 d.≤2 mm, 用 Zemax光学软件仿真优化, 得出中间层厚度 d＝0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证, 为定向辐射 MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数, 极大提高设计效率。
MEMS红外光源 准直透镜 聚光封装 收敛辐射 MEMS infrared source collimating encapsulation light-gathering package convergence of radiation
1 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西 太原 030051
2 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室, 山西 太原 030051
3 苏州大学机电工程学院&江苏省先进机器人技术重点实验室&苏州纳米科技协同创新中心, 苏州 215123
硅基MEMS红外光源作为红外应用系统的核心部件,其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能,然而,国内外对于硅基MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道,因此,为确定硅基MEMS 红外光源的辐射光谱分布,对MEMS 红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的.实验采用OL(Optronic Laboratories)系列光谱测量系统对MEMS 红外光源进行光谱特性测试,相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3～5 ?m,中心波长在3.6 ?m 处,其大气透过率接近90%,具有很好的大气透射度.
MEMS红外光源 光谱测试 光栅衍射 光谱辐射 MEMS infrared source Spectral test Grating diffraction Spectral radiance
