中北大学电子测试技术国防重点实验室, 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 山西 太原 030051
红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键, 准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对 MEMS红外光源设计 CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜, 使红外光线收敛呈准直辐射; 由 MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径 r＝6.48 mm, 透镜焦距 f＝7.2 mm, 透镜厚度 d.≤2 mm, 用 Zemax光学软件仿真优化, 得出中间层厚度 d＝0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证, 为定向辐射 MEMS红外光源研发提供最优的原型尺寸参数, 极大提高设计效率。
MEMS红外光源 准直透镜 聚光封装 收敛辐射 MEMS infrared source collimating encapsulation light-gathering package convergence of radiation
