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简讯
激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究
杜春雷 1林大键 1冯伯儒 1孙国良 1[ ... ]郭履容 2
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209
2 四川大学信息光学研究所, 成都 610064
介绍了利用激光直接光刻技术制作8相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形夏克-哈特曼波前传感器中得到了应用。
激光直接光刻 微透镜列阵 衍射光学元件 
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光学学报
1996, 16(8): 1194
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