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实验技术与元件
光盘表面缺陷的快速分类与质量评价
吴忠俊 李锡善 甘柏辉 孙晶矾 
作者单位
摘要
中国科学院上海光机所, 上海 201800
本文介绍一种利用多通道脉冲宽度鉴别技术直接对光盘表面或光盘盘片表面缺陷进行快速分类和统计的方法和实验结果。通过对聚焦激光束扫描盘面获得的缺陷信号的脉冲宽度分类,统计各类缺陷个数,计算缺陷密度值,有效地评价光盘表面的性能质量。
光盘 表面缺陷 测量 
PDF全文 Full Text
中国激光
1993, 20(12): 921
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