宗慧雯 1,2,3,**赵江山 1,2,3,*宋兴亮 1,2,3郭馨 1,2[ ... ]周翊 1,2,3
1 中国科学院光电研究院投影光学室, 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094
3 中国科学院大学, 北京 100049
半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248 nm、ArF-193 nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件主要以在深紫外波段具有优异传输特性的氟化钙(CaF2)材料为主。针对光源研发过程中涉及的光学元件与激光相互作用时会发生损伤的问题,从CaF2材料自身的物化特性、激光辐射特性以及激光与材料相互作用产生损伤的机理三个方面,综合分析了CaF2材料抗紫外激光研究的发展情况,比较了不同应用背景下CaF2材料的激光损伤特性,总结归纳了提高光学元件激光损伤阈值的措施和方法。
激光光学 准分子激光 氟化钙 激光损伤 损伤阈值 激光与光电子学进展
2019, 56(19): 190002
1 中国科学院光电研究院, 北京 100094
2 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094
短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构，理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性，提出了实现其复合腔窄带激光模式锁定的解决方案，并进行了实验验证。与通常插入色散元件的单窄带腔相比，锁定后的准分子激光复合腔在输出线宽基本不变的情况下能量提高了4.02 倍，激光效率大幅提升，能量稳定性也大幅优化。
激光器 准分子激光器 复合腔 高效率 窄线宽
1 中国科学院光电研究院, 北京 100085
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
利用自成像共焦腔,开展了一维光纤激光阵列相干合成的实验研究, 实现了掺Yb双包层光纤激光阵列的相位锁定, 得到了基于一维光纤激光阵列自成像共焦腔的远场强度分布图样。根据其数学模型及理论计算,合理选择了空间滤波器宽度, 验证了空间滤波器在合成激光不同位置对不同相干成分模式所引入的损耗抑制作用,从实验上证实了空间滤波器在相干合成中 实现模式选择的机理。
激光技术 相干合成 模式选择 自成像共焦腔 空间滤波器 laser techniques coherent combination mode selection self-imaging confocal resonator spatial filter
1 中国科学院研究生院，北京 100049
2 中国科学院光电研究院，北京 100085
3 Department of Physics and Astronomy,Hunter College and the Graduate School,New York NY 10065,USA
4 The City University of New York,New York NY 10065,USA
理论分析了利用自成像共焦腔实现激光列阵相干合成的物理模型，对自成像共焦腔的一维相干合成和二维相干合成进行了模拟仿真计算，得到腔内场的强度分布图样.在此基础上，研究了空间滤波器在相干合成中实现模式选择的机理，并讨论滤波器的设计对相干合成及模式选择的影响，分别对一维相干合成和二维相干合成的情况，仿真计算了输出功率与滤波器位置和宽度的关系，为实验提供了理论依据.
相干合成 模式选择 自成像共焦腔 空间滤波器 Coherent combination Mode selection Self-imaging confocal resonator Spatial filter
