给出了一种改进的软X射线波段的多层膜设计方法.在设计过程中,考虑了反射镜基底和各膜层之间的均方(RMS)粗糙度对反射率的影响;在Stearns提出的散射理论的基础上给?隽舜植诮缑娴氖Ｐ?文中以波长为λ=1.03
nm的软X射线为例进行设计,设计结果表明:要使波长为λ=1.03 nm的多层膜的反射率大于10%,反射镜基底的均方粗糙度不应超过0.6
nm.实验中选择几块表面粗糙度为0.5 nm(RMS)的熔石英平面镜作为基底来制作适用于该波长的、层对数超过70的多层膜.然后在的入射角下测量反射率,测得的值为10%,这与采用本设计方法得到的计算结果一致.该反射镜作为X射线谱仪的分光元件被应用于惯性约束聚变(ICF)的过程诊断中.

介绍了描述单个非理想粗糙界面散射的D. G. Stearns法,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用它的数学模型来描述软X射线短波段区域(1～10 nm)多层膜界面粗糙度.在此理论下,对波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行了分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.