1 华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074
2 Lehrstuhl Fuer Lasertechnik, RWTH Aachen, D-52074 Aachen
利用光学多通道分析仪(OMA Ⅲ)分析了脉冲激光沉积BaTiO3薄膜过程中激光诱导等离子体束的飞行时间谱。根据不同实验参数与条件下等离子体束的飞行时间谱的特征,讨论了条件对等离子体喷射速度的影响。结果表明,在脉冲激光沉积薄膜的情况下,喷射等离子体的飞行速度主要依赖于作用于靶面的激光能量密度。
激光沉积 等离子体 飞行速度 飞行时间谱
华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074
本文报道了一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法。这种方法是通过一光学变换传输系统使激光束能绕一定的半径旋转,旋转的激光束去扫描消融超导靶材来淀积大面积超导薄膜。实验表明用这种激光扫描淀积方法可使超导薄膜的均匀区域扩大10倍左右。
激光扫描 大面积超导薄膜
