北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100191
针对球形光学元件的表面质量检测, 开发了一种基于数字全息的表面曲率参数及疵病的同步检测方法。利用最小二乘法对再现波前进行参数拟合和计算, 解决了再现过程中倾斜因子补偿对测量可靠性造成的影响。通过将原始数据与生成的虚拟曲面相减实现了表面疵病信息的同步提取。实验证明, 该方法的测量结果与白光干涉仪的测量差异小于1.5%, 在不同倾斜因子补偿系数作用下的测量结果误差小于1%。
数字全息 光学元件 最小二乘法 曲率半径 表面疵病 digital holography optic component least square method curvature radius surface defects
