中波红外焦平面探测器因在红外制导导弹、红外夜视仪等**领域的重要性而被广泛关注，其中带通滤光膜具有滤除杂散光和保护探测器的作用。本研究的目的是针对中波红外焦平面探测器滤光膜的关键技术问题，通过分析、选材、优化等方法，制备出性能良好的中波红外带通滤光膜。以Ge为高折射率材料和基底，以SiO为低折射率材料，设计了带通膜系结构。不仅实现了在0°入射角下对295～505 m波段大于92%的高透过率、通带宽度优于37～48 m的常规应用，而且对295～505 m之外的其它波段也能达到良好的截止效果。经测试，其光洁度、牢固性等各方面性能良好，可以很好地应用于中波红外焦平面探测器。

光学薄膜技术广泛应用于几乎所有的光学系统、光电系统和光电仪器。新型探测器的发展对1～3 m近红外波段附近的能量响应提出了滤波的要求。从电磁场理论和麦克斯韦方程出发，介绍了光学薄膜的设计理论，论述了带通滤光膜的设计方法。基于Optilayer软件，以氧化铝为基底，设计了一种工作波段为13～27 m的近红外带通滤光膜。考虑到镀膜材料的匹配性问题，选择硫化锌和氟化镱作为高、低折射率材料。采用长波通与短波通相结合的设计方法，并用Optilayer软件完成了膜系的计算和优化。在氧化铝基底双面镀制膜，用电子束蒸发和离子束辅助沉积的制备工艺完成了膜系镀制。用分光光度计对制备样品进行了透过率测试。结果表明，在13～27 m设计波段，样品的平均透过率大于95%，符合带通滤光膜的设计要求。

概述了中国电子科技集团公司第十一研究所（又称华北光电技术研究所，简称中国电科十一所）自1964年以来在固体激光技术领域的研究工作，前三十年，助力我国“两弹一星”事业，奠定激光增益晶体自主可控基石，此后的发展，激光材料研究逐步聚焦，投身产业发展，激光器件细分领域广泛涉足，激光应用重点突破。择要介绍了中国电科十一所完成的重点工程情况，重要的技术突破，开拓过的专业方向，现在的行业地位，探讨了中国电科十一所未来激光技术发展的可能方向。

介绍了近红外固体激光器中2.06 m激光偏振膜的用途、设计与制备方法。基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比,确定了初始膜系结构。讨论了薄膜选材、通带波纹压缩、工艺制备等相关技术问题。利用计算机优化软件对膜系结构进行了反复优化。采用电子束真空蒸镀和离子源辅助沉积工艺完成了偏振膜的制备,并对其进行了光谱检测。然后根据测试结果对制备过程中的相关参数进行了优化,最终制备出了光学性能优异、膜层吸收少、均匀性好、稳定性高的激光偏振膜。

以光学薄膜理论为出发点，系统介绍了3.7～4.8 m带通滤光膜的理论设计与优化、实际生产制备以及成品测试方法。考虑到膜料性能及膜层匹配等问题，分别选用锗和一氧化硅作为高低折射率材料，并以氧化铝作为薄膜基底。确定了滤光膜的基础膜系，并使用Filmaster软件对膜系进行了设计和优化计算。在薄膜蒸镀过程中，根据材料选取合适的镀制工艺。通过温度控制、离子辅助等方法研制出了可靠性与光谱特性皆优的带通滤光膜，并对其光谱特性及膜层质量等进行了测试。根据设计目标修改工艺参数，最终确定可行的工艺流程，从而研制出了符合光学性能设计指标的3.7～4.8 m带通滤光膜。

以红外光学和薄膜技术为理论背景, 详细介绍了氧化铝基体表面3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al2O3)由于其透光区域较宽,牢固度好, 便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计算和双面镀制截止带通滤光膜的方案,通过速率控制、离子辅助等工艺方法研制成功了可靠性和光谱特性皆优的双波段带通滤光薄膜。分析认为设计结构和优化算法对于薄膜通带平坦度、截止深度以及透过率有着明显的影响。制备工艺方面, 除了合适的蒸发速率外, 采取缓慢蒸发和弱离子能量辅助也是很重要的关键技术, 最终光谱透过率测试平均大于87%, 通过了环境测试, 符合使用要求。

介绍了用于激光测距机的1 572 nm窄带滤光膜的用途、特性和制备方法。利用计算机优化软件对多腔结构进行计算后, 得到了损耗小、制备方便、重复性好的膜系设计。讨论了薄膜的光谱、温漂及均匀性等主要技术问题后, 给出了特性测试和环境实验结果。目前相关的带宽12 nm滤光膜应用在新型激光测距机中分别达到了精度±5 m和重复频率(1±0.1)Hz下11 km的使用效果。