介绍了近红外固体激光器中2.06 m激光偏振膜的用途、设计与制备方法。基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比,确定了初始膜系结构。讨论了薄膜选材、通带波纹压缩、工艺制备等相关技术问题。利用计算机优化软件对膜系结构进行了反复优化。采用电子束真空蒸镀和离子源辅助沉积工艺完成了偏振膜的制备,并对其进行了光谱检测。然后根据测试结果对制备过程中的相关参数进行了优化,最终制备出了光学性能优异、膜层吸收少、均匀性好、稳定性高的激光偏振膜。
偏振膜 膜系设计 离子源辅助沉积 光谱检测 polarizing film membrane design ion source assisted deposition spectral detection
长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题, 选取机械性能稳定的Ti3O5、SiO2作为高、低折射率材料, 依据光学薄膜理论, 采用TFCalc软件设计膜系, 通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜, 在膜系的最外层用电阻加热法镀制防水膜。通过选择新材料SV-55作为连接层, 增强了塑料镜片与膜层的附着力, 解决了膜系与塑料镜片膨胀系数不匹配的问题, 提高了塑料镜片的抗温能力。通过优化工艺参数, 得到400 nm~700 nm反射率R≤1%的绿色减反膜。测试结果显示, 研制的薄膜具有耐摩擦、抗老化、防水和防油污的特性。
光学薄膜 光学塑料 减反膜 离子源辅助沉积 optical film optical plastic antireflection film ion beam assist deposition
长春理工大学光学工程学院, 吉林 长春 130022
蓝光激光器在生物工程、激光显示屏、激光医疗以及侦查通讯等众多领域都有着重要应用，而谐振腔作为激光器的重要组成部分，如何合理有效地激发出蓝光更是研究的重点。针对蓝光激光器的使用要求，以Nd:YAG作为基底，Ta2O5和SiO2分别作为高低折射率材料，利用电子束真空镀膜设备，双离子源辅助沉积的方法进行谐振腔面膜的制备。借助膜系设计软件对实验进行模拟分析，优化改善电场分布，减小激光对薄膜的损伤，详细地叙述了极值法累积误差产生的原因，以及镀膜材料的色散引起的短波区和长波区的监控差异，通过分析折射率所引起的光学厚度变化，调整修正因子，最终制备出了光谱性能好，吸收小，化学性能稳定的滤光膜，满足蓝光激光器的使用要求。
薄膜 膜系设计 蓝光激光器 离子源辅助沉积
为了改善光学镜头表面的耐污染性, 选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料.借助TFCalc软件进行膜系设计, 采用离子源辅助沉积的方法, 通过电子束真空镀膜设备进行制备.对比实验发现, 不同的真空度环境以及不同的膜层厚度, 对于薄膜的防油污性能的影响有所差异.通过对防油污性能的测试, 不断优化沉积工艺参量, 获得了在350~700 nm波段平均理论反射率小于1%的宽带减反射膜.该薄膜具有憎水憎油抗污染能力, 牢固度好, 抗辐射能力强, 可应用于**、医疗、民用等各个领域.
光学薄膜 防油污 宽带减反膜 离子源辅助沉积 抗辐射 Thin films Anti-oil Broadband Ion beam assisted deposition Radiation hardened
