作者单位
摘要
1 广东工业大学 物理与光电工程学院,广州 510006
2 广东工业大学 机电工程学院,激光微纳加工研究中心,广州 510006
3 广东工业大学 实验教学部,广州 510006
为了在透明基板上制备出导电性能良好的微电路,研究了窄脉宽激光正向和背向选择性去除金属薄膜制备的微结构形貌特征,开展了纳秒激光选择性去除Cu薄膜(厚度为150 nm)的实验和温度场仿真研究,揭示了正、背面去除的烧蚀机理和材料的喷射机制。实验结果表明,当激光脉冲能量为0.270~0.542 μJ,扫描速度为2 mm/s时,激光诱导背向去除金属薄膜在加工质量方面优于正向加工,其去除几何精度高,轮廓边缘平整,几乎没有溅射。采用优化后的纳秒激光加工工艺参数,激光脉冲能量为0.403 μJ,扫描速度2 mm/s,扫描线间距为3 μm,制备出均匀分布的铜阵列图案。在相同参数下对玻璃基板上的铜薄膜背向选择性去除,得到具有良好导电性和粘附性的微电路。
窄脉宽激光 背面去除 温度场仿真 金属薄膜 微电路 Narrow pulse width laser Reverse removal Temperature field simulation Mental thin film Microcircuit 
光子学报
2023, 52(7): 0752306
作者单位
摘要
1 河南农业大学资源与环境学院,河南 郑州 450002
2 河南省土地整治与生态重建工程技术研究中心,河南 郑州 450002
研究了基于氮肥效应的冬小麦不同生育期的叶绿素浓度,探讨了XGBoost算法在冬小麦叶绿素浓度估算中的适用性。利用该算法构建了冬小麦叶绿素浓度的高光谱估算模型,并将其与偏最小二乘法(Partial Least Squares, PLS)以及人工神经网络(Neural Network, NN)算法进行了对比。结果表明:(1)冬小麦的叶绿素浓度随着氮肥用量的增加而逐渐升高。(2)基于一阶微分光谱(First-order Differential Reflectance, FDR)数据集的估算模型表现最好。通过对比建模数据集与验证数据集的决定系数R2和相对分析误差(Residual Predictive Derivation, RPD)发现,XGBoost算法的效果最佳。(3)通过波段重要性分析发现,XGBoost算法的8个重要波段均在738~753 nm范围内。与8个常用的红边指数相比,通过XGBoost算法筛选到的8个一阶微分光谱波段对叶绿素浓度的准确估算起到了更加重要的作用。该算法可以作为一种有效的高光谱信息挖掘手段来估算冬小麦的叶绿素浓度。
冬小麦 叶绿素浓度 高光谱 winter wheat chlorophyll content hyperspectral XGBoost XGBoost 
红外
2020, 41(11): 33

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