作者单位
摘要
1 南通大学 机械工程学院, 南通 226019
2 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
为了研究基于激光回馈的偏振跳变效应与相位延迟间的内在联系, 采用微片Nd∶YAG激光器(中心波长1064 nm)为光源, 回馈腔内置两个相对旋转的λ/4波片改变相位延迟, 在调谐回馈腔长的过程中研究了激光器的光强输出和偏振态变化。结果表明, 随着回馈腔内相位延迟增大, 偏振跳变点的凹陷逐渐加深, 两个偏振态的光强调制波形宽度趋于相同; 当回馈腔中相位延迟为90°时, 两正交偏振态在一个强度调制周期内持续时间相同, 每一次偏振跳变对应回馈腔长改变λ/4。此不同相位延迟下偏振跳变点的变化规律, 为1064 nm波长下的波片相位延迟测量提供了潜在方法, 同时相位延迟对激光器输出光强曲线的整形、为激光回馈条纹(自混合干涉条纹)的光学细分提供了依据。
激光光学 偏振跳变 微片激光器 外腔双折射回馈 laser optical polarization flipping microchip laser external-cavity birefringence feedback 
激光技术
2023, 47(5): 627
作者单位
摘要
1 南通大学 机械工程学院,江苏 南通 226019
2 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
微片固体激光器具有体积小、寿命长等优点,是精密测量仪器的重要光源。构建了平-平、半外腔的Nd:YAG和Nd:YVO4微片激光器,通过控制压电陶瓷伸缩改变激光器的谐振腔长,同时使用F-P扫描干涉仪和波长计观察纵模和波长。研究了这2种微片固体激光器的腔调谐特性,包括腔长与光功率的关系,激光纵模扫过出光带宽过程的光功率和单、双纵模变化的规律。实验结果表明:腔调谐过程中单、双纵模交替出现,腔长和泵浦电流共同影响激光器的输出模式和光功率。
Nd:YAG Nd:YVO4 腔调谐特性 输出模式 光功率 Nd:YAG Nd:YVO4 cavity tuning characteristics output mode optical power 
应用光学
2023, 44(2): 437
作者单位
摘要
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
激光器回馈干涉(又称自混合干涉)与传统的光干涉有实质不同。前者发生在激光器(光源)内部,激光介质增益对干涉效果(条纹形状等)起重要作用,而后者只发生在激光器外部的光路上。本文从应用的角度,也从和传统的激光干涉对比的角度探讨固体微片激光器回馈干涉仪的关键技术,包括对固体微片激光器回馈有特殊意义的 “弛豫振荡”、高光灵敏度(完全非接触)的形成、测量精度提高、测量速度增加、频率稳定等。还将介绍本团队研究微片激光准共路-调频回馈干涉仪应用的成果,包括回馈共焦显微技术、表面测量、振动(和声音)测量、面内位移测量、热膨胀系数测量、折射率测量等。
微片激光 准共路 调频 激光回馈 应用 
激光与光电子学进展
2023, 60(3): 0312007
张书练 1,2,*
作者单位
摘要
1 清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
2 北京镭测科技有限公司,北京 100022
双频激光干涉仪功能强大,50年来保持良好的发展势头,应用面(特别是在先进制造业)越来越宽广。本文以解决关键技术为线,概述笔者及合作者经40年坚韧研究完成的“可伐-玻璃组装式单频He-Ne激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪”的全链条技术。技术亮点有:开国内可伐-玻璃组装式He-Ne激光器之先,吹制工艺或成历史;开国内外内雕应力双频激光器之先,解大频差和高功率不可得兼之难,保持1 mW功率运转而频差可以在1~40 MHZ范围选择,还在源头上消除了干涉仪一直存在的测量非线性误差。目前,双折射双频激光器和干涉仪已在北京镭测科技有限公司批量生产。中国计量科学院测试结果表明,此双频激光干涉仪非线性误差小于1 nm,测量70 m长度时误差小于5 μm。
激光器 双频激光 干涉仪 研究历程 可伐-玻璃组装式结构 技术链条 激光雕刻 
光学学报
2023, 43(1): 0114004
作者单位
摘要
1 南通大学 机械工程学院, 南通 226019
2 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
为了提升激光回馈测量系统中He-Ne激光器的性能, 解决激光回馈镜不断移动时频率无法使用传统方法稳定的技术问题, 采用基于温度反馈控制激光器管体温度的闭环被动稳频的方法, 进行了理论分析和实验验证, 研究了不同管体温度与环境温度差值下频率稳定性。结果表明, 系统最佳温差为25.6℃; 在此温差条件下稳频后, He-Ne激光器波长波动范围达10-4, 即频率稳定性达到1.61×10-7, 功率漂移量低于3.20%。该系统可以根据环境温度的变化调节稳频温度点, 并且稳频结构简单, 满足激光回馈一般应用系统稳定性的要求。
激光技术 稳定性 温度闭环控制 频率 laser technique stability temperature closed loop control frequency 
激光技术
2022, 46(6): 755
作者单位
摘要
1 南通大学 机械工程学院,江苏 南通 226019
2 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
在一支HeNe激光器腔长增大的过程中观察了其偏振态的变化,发现它的一种偏振态表现为常亮,另一种偏振态表现为常暗,只有换模时,后者才有机会振荡但又会迅速熄灭,同时它们的光强功率也呈反向变化,这说明两种偏振态的模存在强烈的竞争,且在换模过程中发生了模式跳变,目前尚无对这种现象的具体报道。研究了激光器两种正交模式在腔长调谐时的纵模特性及两种偏振态的光强调谐曲线在频差调整前后的变化,由分析可知:增益介质仅为单同位素Ne是引起两种正交模式偏振异常的原因,并阐述了单同位素Ne对模式竞争的影响。
频率分裂 HeNe激光器 单同位素Ne 模式竞争 frequency split HeNe laser monoisotopic Ne mode competition 
红外与激光工程
2022, 51(4): 20210237
作者单位
摘要
1 南通大学 机械工程学院,江苏 南通 226019
2 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
砷化镓和蓝宝石晶体已经广泛应用于红外领域、光电领域和**设备,因此两种材料的折射率测量对光学设计、计量检测和工业应用具有重要意义。为提高两种材料折射率的测量精度,采用微片激光回馈干涉技术同时测量折射率和厚度。此系统结合外差调制和准公共路径对空气气流和振动进行补偿,因此具有高灵敏度、高精度和高稳定性的特点,特别是同时测量性以及仅需将样品加工成薄片状而非棱柱形。实验结果表明,砷化镓和蓝宝石晶体(在寻常光下)的折射率测量精度提高到10−3和10−4,且厚度的精度均为10−4 mm。
砷化镓 蓝宝石 回馈干涉 折射率 精度 GaAs Sapphire Crystal feedback interferometry refractive index accuracy 
红外与激光工程
2022, 51(3): 20210400
作者单位
摘要
清华大学精密仪器系, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
“没有测量就没有科学”,对物理量越来越精确的测量已成为现代科学和技术领域孜孜追求的目标。激光干涉精密测量具有可溯源,纳米甚至皮米高分辨率,以及数米、几千米甚至上千千米的超长测量范围等突出优点,被广泛用于IC装备、数控机床、超精密微纳制造、引力波探测等先进技术和前沿科学领域。清华大学激光精密测量与应用课题组长期围绕激光干涉和激光回馈干涉开展研究,先后在大频差、高功率保持的新原理双频激光器、用于无靶镜纳米测量的回馈干涉原理研究方面取得了突破,研制出新型双频激光干涉仪和激光回馈干涉仪,并在多个领域开展了应用研究。本文详细总结了课题组最近十年的研究成果,在此基础上展望了激光干涉精密测量与应用研究领域的发展前景。
激光光学 精密测量 激光干涉 激光回馈 计量应用 
中国激光
2021, 48(15): 1504001
作者单位
摘要
清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室, 北京 100084
基于高斯光束q参数变换理论严格推导出倒置望远系统对高斯光束的准直倍率,结果表明,在不考虑透镜遮挡条件下,倒置望远系统对高斯光束的准直倍率仅与几何压缩比有关,与高斯光束的束腰半径及物距无关。进一步研究发现,在适当的近似前提下,本文推导结果可与激光原理教材中的相关推导获得统一。对本文算法进行仿真,结果显示,在满足激光原理教材讨论的条件下,本文得到的准直倍率与其所得结果相一致。本文所得高斯光束经倒置望远系统的准直倍率可以为相关科研与工程实践活动中的准直操作部分提供更准确的参考。
激光光学 高斯光束 准直倍率 
光学学报
2021, 41(9): 0914001
作者单位
摘要
1 南通大学 机械工程学院,江苏 南通 226019
2 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
频率差可调的加力型频率分裂氦氖激光器具有广阔的应用前景,目前鲜有关于该激光器频率差热漂移的具体报道,但它是一个重要的应用指标,特别是在光刻机用干涉仪中需要重点关注。采用弹性加力法对双折射-塞曼氦氖双频激光器进行频率差赋值,详细观察了频率差在开机漂变阶段、过渡阶段及稳定阶段状态的变化过程, 给出了频率差对开机时间的曲线。实验表明稳频作用下的频率差的稳定性优于23 kHz/h,重复性优于130 kHz。此外还就不同结构或材料的弹性加力元件对频率差的影响进行了对比分析,实验表明系统温度分布的均匀性和稳定性对频率差热漂移起重要作用。
弹性加力 氦氖激光器 频率差 热漂移 elastic force-exerting He-Ne laser frequency difference thermal drift 
红外与激光工程
2021, 50(2): 20200392

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