南宁师范大学物理与电子学院，广西 南宁 530299
红外光谱检测是一种可靠稳定的分析方法，微机电系统（MEMS）法布里-珀罗（F-P）可调谐滤波器是红外光谱仪、手机摄像头、便携式高光谱成像仪和遥感仪等仪器的核心器件。传统红外分析系统和光谱仪的体积大、功耗高且价格昂贵，很难应用到小型化器件中。相比传统类型的滤波器，MEMS F-P可调谐滤波器具有尺寸小、分辨率高、易于集成和功耗低等优势。综述了近年来MEMS F-P可调谐滤波器在国内外的研究进展，讨论了其波长调谐范围、光谱分辨率、孔径大小以及制造的复杂性和成本等，并展望了MEMS F-P滤波器未来的发展趋势和应用前景，为MEMS F-P可调谐滤波器的研究提供了参考。
光学器件 微机电系统 法布里-珀罗腔 可调谐滤波器 红外 激光与光电子学进展
2022, 59(11): 1100005
华东师范大学 电子工程系 极化材料与器件教育部重点实验室, 上海 200241
采用溶胶-凝胶非硫化方法制备了表面平整、致密的铜锌锡硫薄膜.XRD及Raman分析表明制备的铜锌锡硫薄膜为锌黄锡矿结构.能谱分析表明所有薄膜均贫铜富锌贫硫.场发射扫描电子显微镜测得薄膜的厚度在0.7μm左右.透射光谱表明随后退火温度的提高薄膜的光学带隙从2.13eV减小到1.52eV.
溶胶-凝胶 铜锌锡硫 薄膜 前驱体 预退火 后退火 组分 sol-gel Cu2ZnSnS4(CZTS) film precursor pre-anneal post-anneal composition
