1 中国科学院上海光学精密机械研究所， 强激光材料重点实验室， 上海 201800
2 中国科学院大学， 北京 100049
摩擦系数是表征光学玻璃抛光特性的重要参量，平均摩擦系数决定了抛光速率，摩擦系数的变化范围影响光学玻璃的面形精度和表面粗糙度。通过正交实验，研究了抛光过程中实验因素对磷酸盐激光玻璃和光学沥青抛光胶之间摩擦特性的影响。极差分析结果表明，实验因素对平均摩擦系数大小和摩擦系数变化范围影响的显著程度相同。其中，加载压力影响较大，而沥青抛光胶胶号影响较小。在本实验中高的平均摩擦系数对应着大的摩擦系数变化范围。另外，从粘滑摩擦、粘附、磨料磨削和抛光液液膜方面进行了分析，对引起摩擦系数随时间变化的诱因进行了探讨。
材料 磷酸盐激光玻璃 光学沥青抛光胶 摩擦系数 玻璃抛光 粘滑摩擦
大口径激光玻璃光学加工的特点是加工指标要求高、难度大，加工周期长，而质量控制是保障大口径激光玻璃光学加工质量满足要求和促进工艺进步的管理手段。从质量控制和质量管理的角度出发，阐述了在大口径激光玻璃光学加工中质量控制的特点和质量控制的方法,其目的是通过流程检验和控制，人员、设备、物料管理，环境管理，以及先进的质量控制和分析方法的应用来提高加工的质量稳定性和合格率。实践证明:在大口径激光玻璃光学加工中推行质量管理，产品的合格率和加工效率得到了较为显著的提高。
光学加工 大口径激光玻璃 质量控制 optical process large-aperture laser glass quality control
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
磷酸盐钕玻璃、熔石英和BK7是3类用于激光惯性约束聚变（ICF）装置主要光学元件材料。实验中采用不同平均粒径的氧化铈抛光粉对上述3类材料分别进行抛光, 对特定材料抛光去除量和抛光粉平均粒径的关系进行了研究。实验表明：由于材料的物理和化学特性不同, 特定的材料需选用相应平均粒径大小的抛光粉才能达到最佳的抛光效率。实验还就上述3类高功率激光玻璃材料抛光中各个阶段的抛光粗糙度与抛光粉平均粒径的关系进行了研究, 结果表明：某一规格抛光粉的粒径对不同特性材料抛光后的表面粗糙度影响表征情况不同。
高功率 激光玻璃 光学加工 抛光粉
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
从磷酸盐激光玻璃的成分和结构出发,分析了其化学机械抛光(CMP)机制。通过实验验证了磷酸盐激光玻璃对抛光液pH值具有较强的选择性,在微酸性和中性条件下磷酸盐激光玻璃具有较高的抛光效率,在抛光液中添加pH值调节添加剂会保持抛光环境的酸碱性从而影响抛光效率和抛光质量。通过对pH值和抛光剂浓度的控制获得了均方根(RMS)优于0.6 nm的磷酸盐激光玻璃的超光滑表面。
材料 激光玻璃 光学加工 抛光液
