1 天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072
2 光电信息技术教育部重点实验室, 天津 300072
3 天津大学电气与自动化工程学院, 天津 300072
4 国家海洋技术中心, 天津 300112
针对海水折射率变化引起差分激光三角法溢油油膜厚度测量系统结果误差增大的问题，理论分析了海水折射率变化对厚度测量值的影响机理，研究了折射率变化与测量结果误差大小的关系。提出了基于二维曲面拟合的误差补偿方法。该方法通过采集不同厚度、不同折射率下的厚度测量值，利用二次多项式曲面拟合建立测量误差、厚度测量值和折射率之间的函数关系，根据测量值和折射率值，就可得到误差补偿值，进而实现对测量结果的补偿。通过对不同折射率、不同厚度陶瓷量块的补偿实验，结果表明补偿后的厚度测量值更接近真值，测量结果的误差显著降低。
测量 误差补偿 曲面拟合 差分激光三角法 油膜厚度测量
