1 中国科学院 光电技术研究所， 成都 610209
2 中国科学院大学， 北京 100049
在不同射频功率条件下，实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。实验表明，随着功率的增加，金刚石相的相对分数减少，薄膜的折射率先减小再增加然后减小，射频功率大于910 W时，沉积速率急剧增大。而薄膜的硬度先增加后减小，在射频功率为860 W处获得最大值。
射频功率 射频等离子体化学气相沉积 类金刚石薄膜 Raman光谱 radio frequency power radio frequency plasma chemical vapor deposition diamond-like carbon films Raman spectrum
1 中国科学院 光电技术研究所,四川 成都 610209
2 中国科学院 研究生院,北京 100049
研究了热蒸发法和80,120 V偏压下的氩离子辅助淀积的氟化镱(YbF3)红外薄膜的光学特性和微观结构,用光度计和椭偏仪分别测量了YbF3薄膜在中红外波段的透射率、折射率以及消光系数色散曲线,并用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)谱仪研究了薄膜的断面结构和晶相结构。实验发现,两种沉积技术淀积的YbF3薄膜均为无定形结构,且氩离子辅助较未加氩离子辅助的阻热蒸发淀积的YbF3薄膜聚集密度更高,水吸收峰明显减小,与基板结合的更优。120 V偏压下所获取的高能量氩离子辅助淀积的YbF3薄膜聚集密度接近1,几乎完全消除了水吸收损耗。
薄膜 离子辅助 红外薄膜 水吸收 消光系数 微观结构
中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209
采用电阻蒸发和电子束蒸发方法,制备了9种红外薄膜材料的单层膜,包括氟化物、硫化物和硒化物.通过测量在可见近红外波段的透射率,采用包络线法计算出这些薄膜从可见到红外的折射率,高温退火能改善薄膜的光学性能.
红外 光学薄膜 折射率
