1 中国科学院 光电技术研究所， 成都 610209
2 中国科学院大学， 北京 100049
在不同射频功率条件下，实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。实验表明，随着功率的增加，金刚石相的相对分数减少，薄膜的折射率先减小再增加然后减小，射频功率大于910 W时，沉积速率急剧增大。而薄膜的硬度先增加后减小，在射频功率为860 W处获得最大值。
射频功率 射频等离子体化学气相沉积 类金刚石薄膜 Raman光谱 radio frequency power radio frequency plasma chemical vapor deposition diamond-like carbon films Raman spectrum
