作者单位
摘要
凯里学院物理与电子工程学院, 贵州 凯里 556011
采用原子层沉积技术,以Al(CH3)3为铝的前驱体,分别以TiCl4和四(二甲基氨基)钛(TDMAT)为钛的前驱体制备了两种TiAlC薄膜,并对比分析了它们的薄膜性能。结果表明,这两种薄膜均存在不同程度的自然氧化;以TDMAT为前驱体制备的膜层的光学带隙有两个值,分别是0.68 eV和2.00 eV,而以TiCl4为前驱体制备的薄膜的光学带隙为0.61 eV,前者的平均透射率、沉积速率、电阻率及表面粗糙度均高于后者的,但前者的厚度均匀性较差;以TiCl4为前驱体制备的薄膜为无定形结构,而在以TDMAT为前驱体制备的薄膜中出现了TiN晶体;相对于有机化合物TDMAT而言,无机化合物TiCl4更适合作为制备TiAlC栅介质材料的前驱体。
薄膜 原子层沉积 均匀性 透射率 
激光与光电子学进展
2017, 54(11): 113104
作者单位
摘要
1 凯里学院物理与电子工程学院, 贵州 凯里 556011
2 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
为了提高鱼眼镜头中透镜的加工效率, 设计了三片不胶盘夹具代替传统的刚性盘和弹性盘进行精磨和抛光, 提高了生产效率;采用熔化后的聚氨酯代替上盘胶, 可避免抛光时胶层对面型的影响;运用皮筋代替设备上的压力表, 提高了下摆机精磨和抛光时光圈的稳定性;规范精磨及抛光工序中模具的使用, 有利于生产效率的提高;通过对抛光和定心磨边先后顺序的调整, 可有效避免磨边过程中在零件表面产生压痕和划痕;通过对涂墨夹具结构的改进, 提高生产效率, 降低劳动强度。在生产中, 三片不胶盘夹具的生产效率相对较低, 如何成功研制出多片不胶盘夹具是下一步工作的重点。
表面光学 鱼眼镜头 不胶盘夹具 机械定心磨边 精磨 
激光与光电子学进展
2017, 54(8): 082401
作者单位
摘要
1 凯里学院物理与电子工程学院, 贵州 凯里 556011
2 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
采用原子层沉积技术实现了膜层厚度均匀性小于3.5%的银饰TiO2保护薄膜的制备。X射线衍射测试结果表明,沉积温度为100 ℃时薄膜为无定型结构,沉积温度为250 ℃时薄膜为锐钛矿相。腐蚀实验结果表明,30 nm和45 nm厚度的TiO2薄膜都具一定的抗变色能力,但厚度为45 nm的TiO2薄膜的抗变色能力更佳。光谱测试结果表明,在不影响银饰外观的前提下,单层TiO2作为保护膜的抗变色效果无法达到最佳。
薄膜 均匀性 光谱测试 银饰 
激光与光电子学进展
2017, 54(3): 033102

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