1 中国科学院光电技术研究所自适应光学研究室， 四川 成都 610209
2 2中国科学院自适应光学重点实验室， 四川 成都 610209
3 中国科学院研究生院， 北京 100049
横向剪切干涉术是一种自参考干涉计量技术，其原理是被检测波前与其自身被剪开的波前之间在重叠范围内相干涉，由干涉图得到两相互剪切波前的波前差，通过波面重建算法得到待测波面。在波面重建算法中，泽尼克待定系数法是其中的一种。分析了横向剪切干涉技术的测量原理；提出了一种新的基于解耦差分泽尼克待定系数法的二维横向剪切波面重建算法。理论分析和数值仿真表明,该算法简单直观，复原精度高，而且可用直角坐标系下的差分泽尼克多项式直接拟合环形波面。
自适应光学 横向剪切干涉技术 二维 波前重构 差分泽尼克待定系数法 解耦
1 中国科学院光电技术研究所自适应光学研究室， 四川 成都 610209
2 中国科学院自适应光学重点实验室， 四川 成都 610209
3 中国科学院研究生院， 北京 100049
通过引入波面的二阶导数对传统的最小二乘法(LSM)进行了改进；利用改进后的LSM分别分析了单个方向和相互正交两个方向的横向剪切数据，并将改进后的LSM与网格点法和积分法复原波前的空间特性进行了比较；利用相互正交两个方向的横向剪切数据分别分析了环形孔径和复杂孔径横向剪切干涉仪（LSI）波前复原的频率响应和空间分布特性，并进行了仿真验证。证实了对于任意形状的光阑，利用改进的LSM可以从相互正交的两个方向的剪切干涉图中提取对应光阑部分的相位。
测量 横向剪切干涉仪 最小二乘法 光阑 频率响应 空间分布特性
