贺奕焮 1,2,*庞子博 3朱先立 1,2徐德刚 1,2[ ... ]姚建铨 1,2
作者单位
摘要
1 天津大学 精密仪器与光电子工程学院 激光与光电子研究所,天津 300072
2 天津大学 光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
3 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220
4 第三军医大学西南医院神经外科,重庆 400038
基于双温区法生长的高质量DAST(4-(4-二甲基氨基苯乙烯基)甲基吡啶对甲苯酸盐)晶体,成功搭建了高能量、超宽带可调谐差频THz辐射源,系统尺寸40 cm×25 cm,调谐范围达到0.3~19.6 THz,最大输出能量达到4.02 μJ/pulse@18.6 THz,信噪比最高达到32.24 dB,结合振镜扫描技术,以0.1 THz为步长,超宽带光谱扫描时间小于1 min.实验中观测到差频产生THz波的输出饱和现象并研究了基于DAST晶体差频产生THz波的偏振特性与传输特性,证明基于DAST晶体差频产生的THz波消光比达到0.05,且差频过程满足0类相位匹配条件.基于该太赫兹辐射源,对多种固体样品在2~14 THz范围内的超宽带THz光谱信息进行了有效获取.
晶体 太赫兹 超宽带可调谐 DAST DAST, crystal terahertz ultra-wideband tunable 
红外与毫米波学报
2019, 38(4): 04485
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220
研究了化学机械抛光( CMP)过程中抛光液组分对硫化镉( CdS)晶片表面粗糙度的影响。通过分析磨粒浓度、氧化剂种类及浓度、 pH值对 CdS晶片表面粗糙度的影响后,得到了用于 CdS晶片 Cd面 CMP的抛光液配比,即磨粒 SiO2浓度为 20%,氧化剂 NaClO的浓度为 2.5%,pH值为 10.64。在优化其他工艺条件下,采用该抛光液对 CdS晶片 Cd面进行抛光,可以获得高质量的抛光表面,经原子力显微镜(AFM)测试,在 10 .m×10 .m的区域内,Cd面表面粗糙度 Ra仅为 0.171 nm。该抛光液也适用于 S面的抛光,S面表面粗糙度 Ra可达到 0.568 nm,从而达到双面共用的效果。
CdS晶片 Cd面 抛光液 表面粗糙度 CMP CMP CdS wafer Cd surface polishing slurry surface roughness 
红外技术
2018, 40(10): 931

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