刘智 1,2成步文 1,2,*
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
2 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院, 北京 100049
随着硅基锗薄膜外延技术的突破, 基于硅基锗材料的光电子器件快速发展, 其中以硅基锗光电探测器最为突出。由于锗可以实现近红外通信波段的光吸收, 而且完全兼容硅的CMOS工艺, 硅基锗探测器几乎成为硅基光探测的唯一选择。文章主要介绍了面入射和波导耦合两类常见硅基锗光电探测器的研究进展, 包括典型的器件结构, 以及提升响应度和带宽等性能的主要途径。
硅基锗探测器 面入射 波导耦合 Si based Ge PIN photodetectors normal incidence waveguide coupling 
半导体光电
2022, 43(2): 261
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049
硅材料在1.1~8.5 μm有非常低的吸收损耗,因此硅基光电子学有望扩展到中红外波段。并且随着通信窗口扩展、气体分子检测、红外成像等应用需求的出现,硅基中红外波段器件研发工作的开展势在必行。在中红外波段硅基光电子器件中,硅基调制器有着举足轻重的地位:它是长波光通信链路中不可或缺的一环,还可以应用在片上传感系统中提高信噪比、实现光开关等功能。研究发现,相比于近红外波段,硅和锗材料在中红外波段有更强的自由载流子效应和热光效应,因此,基于硅基材料的中红外调制器具有独天得厚的优势。系统总结了中红外硅基调制器的发展趋势和研究现状,介绍了基于硅和锗材料的电光调制器以及热光调制器的工作原理和最新研究进展,最后对中红外硅基调制器进行了总结与展望。
中红外 硅基光电子 调制器 mid-infrared silicon-based optoelectronics modulator 
红外与激光工程
2022, 51(3): 20220021
郑军 1,2,*刘香全 1,2李明明 1,2刘智 1,2[ ... ]成步文 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
硅基IV族锗锡和锗铅合金材料带隙随组分可调,并可转变成直接带隙半导体材料,是研制硅基红外探测和发光器件的理想材料。本文首先介绍锗锡和锗铅材料外延生长工作,然后对锗锡光电器件的研究进展进行回顾和讨论。其中,随着锗锡合金中锡组分增加,锗锡光电探测器往高响应度和长探测截止波长方向发展;锗锡激光器的研究则集中在降低激射阈值、提高激射温度和电泵浦方面。本文还对锗铅材料和光电器件的研究进展进行简要介绍和展望。随着硅基高效光源和探测器研究的不断深入,IV族合金材料在硅基红外光电集成领域将继续展现重要的应用价值。
硅基光电子 锗锡 锗铅 探测器 激光器 Silicon photonics Germanium tin Germanium lead Photodetector Laser 
光子学报
2021, 50(10): 1004002
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
通过理论模拟CMOS工艺兼容的SiGe/Si 单光子雪崩二极管, 研究并讨论了掺杂条件对于电场分布、频宽特性、以及器件量子效率的影响。设计出具有浅结结构、可在盖革模式下工作、低击穿电压(30 V)的1.06 μm单光子技术雪崩光电二极管。 器件采用分离吸收倍增区结构, 其中Si材料作为倍增区、SiGe材料作为吸收区, 这充分利用了硅材料较高的载流子离化比差异, 降低了器件噪声;在1.06 μm波长下, SiGe探测器的量子效率为4.2%, 相比于Si探测器的效率提高了4 倍。仿真表明优化掺杂条件可以优化电场分布, 从而在APD击穿电压处获得更好的带宽特性。
单光子雪崩光电二极管 电场分布 量子效率 仿真分析 single photon avalanche photodiode SACM-APD SACM-APD electric field distribution quantum efficiency simulation analysis 
红外与激光工程
2016, 45(5): 0520004
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
Si基光互连具有高速度、高带宽、低功耗、可集成等特点,是解决Si 基集成电路发展瓶颈的一个重要途径。在Si 基光互连的关键器件中,除了Si 基高效光源以外,其他的器件都已经实现。同为IV 族元素的Ge 具有独特的准直接带隙的能带结构,有望通过能带工程等手段实现高效发光。近年来,Si 基IV 族发光材料和发光器件有了许多重要进展。回顾了Si 基IV 族发光材料和发光器件的最新成果,如Si 衬底上张应变的Ge、Ge 发光二极管及激光器、GeSn发光器件,并对结果进行了讨论。最后展望了Si 基IV 族激光器的发展趋势。
材料 发光二极管 激光器 张应变 发光 
激光与光电子学进展
2014, 51(11): 110001
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
基于Ge、GeSn 等IV 族材料的硅基探测器与Si CMOS 工艺兼容性好,成本低廉,并且易于与硅基波导器件集成,因而具有非常重要的应用价值。介绍了中国科学院半导体研究所在相关硅基IV 族合金材料外延制备及相关器件方面的研究,重点介绍在硅基Ge 面入射探测器、波导型探测器、吸收电荷倍增分离型(SACM)结构雪崩光电探测器以及GeSn 光电探测器方面的一些研究进展。
探测器 硅基光电子 光电探测器 近红外探测 硅基光互连 光学器件 
激光与光电子学进展
2014, 51(11): 110002
作者单位
摘要
中国科学院 半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
近年来, 与Si的CMOS工艺相兼容的Ge/Si异质结构发光器件取得很多重要的进展。本文概述了Si基Ge异质结构发光器件的最新成果, 如Ge/Si量子点发光二极管、Si衬底上的Ge发光二极管及激光器和Ge/SiGe多量子阱发光二极管, 分别描述了这些器件的特点和增强其发光特性的途径。最后展望了Si基Ge异质结构发光器件的发展趋势, 指出尽管Si基Ge异质结构发光器件获得了很大的发展, 但是器件的发光效率仍然很低, 离实用还有一定距离, 还需要在材料和器件的结构方面有更多的创新。
发光器件 发光二极管 Ge/Si量子点 Ge/SiGe量子阱 light emitter light emitting diode Ge Ge Ge/Si quantum dot Ge/SiGe multiple quantum well 
中国光学
2013, 6(4): 449
作者单位
摘要
中国科学院 半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室,北京100083
激光与光电子学进展
2010, 47(3): 03SC014
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
制作了一种低成本硅基1.55 μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为 12.5 nm,调谐范围 14.5 nm,并且获得1.8 GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.
共振腔增强型探测器 介质键合 可调谐 高频响应 Resonant cavity enhanced photodetector RCE Medium bonding InGaAs InGaAs Tunable High frequency response 
光子学报
2005, 34(12): 1783
作者单位
摘要
中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083
用传输矩阵方法,在简化的光学模型基础上,分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR (Distributed Bragg Reflector)的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS (Micro-Electro- Mechanical-System)可调谐光滤波器透射谱的影响.计算表明:DBR生长误差仅使主透射峰位置发生变化,而镜面起伏是导致主透射峰性能劣化的主要原因,它使得FWHM增大,透射峰强度下降.理论计算结果能较好地解释实验现像.在此基础上,进一步讨论了引起镜面起伏的多种原因,并提出了可能的解决方法.
可调谐光滤波器 镜面起伏 Fabry-Perot 
光子学报
2003, 32(6): 661

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