中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室, 北京 100083
在光网络中平顶滤波器可以有效地提高信道光检测的快速性和准确性。利用两个法布里珀罗腔间的串联耦合,可以构建出具有平顶透射特性的双腔型法布里珀罗滤波器。采用传输矩阵的方法,研究了随机生长误差对双腔型平顶滤波器透射特性的影响。模拟分析表明,当两个法布里珀罗腔的物理厚度差超过一个纳米时,在透射谱中就会出现两个高度不同的透射峰;解释了实测器件的透射谱中的双峰不对称性;用界面起伏的概念解释了实测滤波器带宽大于理论值的原因。理论分析与实验结果取得了较好的一致。
光学器件 平顶滤波器 法布里珀罗腔 双半波腔 传输矩阵
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
制作了一种低成本硅基1.55 μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为 12.5 nm,调谐范围 14.5 nm,并且获得1.8 GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.
共振腔增强型探测器 介质键合 可调谐 高频响应 Resonant cavity enhanced photodetector RCE Medium bonding InGaAs InGaAs Tunable High frequency response
中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京,100083
建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好.
可调谐滤波器 表面微机械 MOEMS MOEMS Tunable optical filter Fabry-Perot Fabry-Perot Surface micromaching
中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083
用传输矩阵方法,在简化的光学模型基础上,分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR (Distributed Bragg Reflector)的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS (Micro-Electro- Mechanical-System)可调谐光滤波器透射谱的影响.计算表明:DBR生长误差仅使主透射峰位置发生变化,而镜面起伏是导致主透射峰性能劣化的主要原因,它使得FWHM增大,透射峰强度下降.理论计算结果能较好地解释实验现像.在此基础上,进一步讨论了引起镜面起伏的多种原因,并提出了可能的解决方法.
可调谐光滤波器 镜面起伏 Fabry-Perot
