中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案，比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果，给出了其相对测量误差，并分析了误差的主要来源。该方法速度快，精度高，有推广和应用的价值。
衍射花样 划痕宽度 测量
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理实验室, 上海 201800
在理论上分析了截面为矩形、三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性,并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射光及粗糙度散射光的干扰提出了行之有效的措施。
衍射光强分布 实际宽度 等效线宽
针对当前对脉冲激光波面半径测量缺乏有效的测试方法,提出了集大错位与等光程于一体的四平板剪切干涉法,达到对脉冲激光波面半径的高精度测量。R值在30~1000 m的范围内,测量误差小于±5%。
波面半径 等光程 剪切干涉
