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材料与薄膜
衬底温度对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响
罗乐 1,*赵树弥 1仇冀宏 1方尚旭 1[ ... ]陶汝华 2
作者单位
摘要
1 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230009
2 中国科学院 安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031
中国科学院“计划”和合肥工业大学博士基金(GDBJ2008043)资助课题。
薄膜 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积法 衬底温度 表面形貌 微观结构 sp3/ sp2比值 迁移 
PDF全文 Full Text
中国激光
2010, 37(8): 2063
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