合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230009
用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜的实验中,保持其它实验参数不变,沉积时间分别取15、20 min和25 min来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。检测结果表明,在其它实验参数不变的条件下,沉积时间从15 min增加到20 min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,sp3/ sp2比值和薄膜密度明显增大,薄膜表面粗糙度显著降低。沉积时间从20 min增加到25 min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,但是sp3/ sp2比值和薄膜密度都没有明显改变。
脉冲激光沉积法 类金刚石膜 沉积时间 微观结构 表面形貌 pulsed laser deposition diamond like carbon film deposition time microstructure topography
1 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230009
2 中国科学院 安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031
中国科学院“计划”和合肥工业大学博士基金(GDBJ2008043)资助课题。
薄膜 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积法 衬底温度 表面形貌 微观结构 sp3/ sp2比值 迁移
