浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,浙江大学光电工程学系,杭州,310027
设计研制了一种亚毫秒级微机械光开关阵列.该阵列驱动电压为5 V,开关时间小于750μs,插入损耗在0.6 dB～0.8 dB之间,串扰＜-70 dB.具有结构简单、成本低廉、可大规模集成的优点,能很好地解决智能光网络节点连接设备OADM快速信号转换和串扰问题.详细介绍了该光开关阵列实现原理,报告了器件性能测试,并应用FEA软件分析了开关单元中磁场和开关驱动过程.
智能光网络 光开关 微机械 微加工 ION OADM Optical switch Micromachining OADM
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计研制了一种新型小体积,低成本的光纤直接耦合微加工型可调光衰减器.该器件采用电磁微线圈驱动柔性框架上的活动光纤微位移实现信号功率衰减变化,驱动电压为0～8 V,工作范围0～65 dB,动态时间响应小于2.3 ms.器件构造工艺主要使用了CNC高精度雕刻和激光点焊封装技术.利用有限元单元法进行器件理论分析,并报告了其测试性能.
光衰减器 光纤直接耦合 光纤通信 Varibable optical attenuator （VOA） Direct couple Fiber-optic communications
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器.与传统可调光衰减器相比,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节,并且可通过器件结构的优化设计,对光衰减量的非线性进行补偿,最终得到线性衰减.器件性能测试表明,插入损耗IL《0.3 dB,偏振相关损耗PDL《0.1 dB,波长相关损耗WDL《0.2 dB,衰减范围0～40 dB,回波损耗RL》50 dB.
微光机电系统(MOEMS) 可变光衰减器 电磁驱动 微位移驱动器
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计研制了一种新型小体积,低成本的1×2光纤直接耦合微加工型光开关.该器件使用电磁微线圈驱动一封装在微加工柔性框架上的活动光纤,使其对准另两根固定光纤,实现光路转换.驱动电压为5 V,开关时间小于2 ms,插入损耗达到0.9～1.1 dB.器件构造工艺采用了CNC雕刻技术和EDM技术.本文剖析了器件损耗,用有限元软件ANSYS分析了器件的磁场和弹簧受力而优化结构设计,并报告了器件性能测试.
光开关 光纤直接耦合 光纤通信
