浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计研制了一种新型小体积,低成本的光纤直接耦合微加工型可调光衰减器.该器件采用电磁微线圈驱动柔性框架上的活动光纤微位移实现信号功率衰减变化,驱动电压为0～8 V,工作范围0～65 dB,动态时间响应小于2.3 ms.器件构造工艺主要使用了CNC高精度雕刻和激光点焊封装技术.利用有限元单元法进行器件理论分析,并报告了其测试性能.
光衰减器 光纤直接耦合 光纤通信 Varibable optical attenuator （VOA） Direct couple Fiber-optic communications
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,浙江,杭州,310027
设计了一种具有自锁功能,可实现数字化的电磁驱动可调光衰减器.该衰减器以电磁驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮以及与偏心轮点接触的移动挡光片,从而实现数字化电控调节光衰减量.性能测试表明该器件的插入损耗小于 0.5 dB,衰减动态范围为0～50dB.
数字化电控可调光衰减器 微加工 微位移驱动器 光通信
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器.与传统可调光衰减器相比,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节,并且可通过器件结构的优化设计,对光衰减量的非线性进行补偿,最终得到线性衰减.器件性能测试表明,插入损耗IL《0.3 dB,偏振相关损耗PDL《0.1 dB,波长相关损耗WDL《0.2 dB,衰减范围0～40 dB,回波损耗RL》50 dB.
微光机电系统(MOEMS) 可变光衰减器 电磁驱动 微位移驱动器
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,光及电磁波研究中心,杭州,310027
一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器,以电磁线圈驱动微反射镜.本文介绍该器件特性测试及动态响应分析,结果表明,驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间为2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB.
微机械(MEMS) 可调光衰减器(VOA) 电火花加工(EDM) 动态响应
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江大学光及电磁波研究中心, 杭州 310027
一种新型的低成本、小体积的电磁驱动微机电系统可调光衰减器,可用于密集波分复用系统中各信道的动态增益平衡。该器件采用电磁线圈驱动绕100微轴转动的微反射镜,运动部件行程极小。驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间小于2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB。器件采用微细电火花加工技术制作,加工精度为微米量级,技术成熟,工艺简单,易于批量生产。采用有限元分析软件ANSYS对器件的结构建模,对电磁场及衰减曲线进行了理论分析,并与实测数据进行了比较,得出了相当满意的结果。
光纤通信技术 可调光衰减器 微机电系统 电火花加工 密集波分复用
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心, 杭州 310027
设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底1×4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动,微反射镜绕直径100 μm转轴转动,驱动电压为5 V,开关时间小于2 ms,插入损耗小于0.84 dB,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场,进行结构优化设计,并着重介绍开关的实现及性能。
光纤通信技术 微型光机电系统 光开关 电火花加工
