1 浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室，杭州 310027
2 Lightip Technologies，Inc．Ottawa，ON K1K 4R8，Canada
应用有限差分方法对金属－半导体－金属光探测器进行二维分析，全部数值模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的．结合模拟结果对金属－半导体－金属光探测器的瞬态响应进行了分析，以特性分析结果为基础针对探测器的响应速度和响应率等性能指标进行了二维结构上的优化设计．
MSM光探测器 有限差分 二维分析 瞬态响应 优化设计 MSM photodetector Finite difference method 2D Transient response Optimization Si Si
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,浙江,杭州,310027
设计了一种具有自锁功能,可实现数字化的电磁驱动可调光衰减器.该衰减器以电磁驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮以及与偏心轮点接触的移动挡光片,从而实现数字化电控调节光衰减量.性能测试表明该器件的插入损耗小于 0.5 dB,衰减动态范围为0～50dB.
数字化电控可调光衰减器 微加工 微位移驱动器 光通信
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027
设计制作了一种非硅基底的1×2微机械光开关,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换,开关时间＜3 ms,封装尺寸缩小至21 mm×16 mm×12.6 mm,驱动电压5 VDC,经5×106次开关重复性测试,性能稳定.
光纤通讯 光开关 微机械
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,光及电磁波研究中心,杭州,310027
一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器,以电磁线圈驱动微反射镜.本文介绍该器件特性测试及动态响应分析,结果表明,驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间为2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB.
微机械(MEMS) 可调光衰减器(VOA) 电火花加工(EDM) 动态响应
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江大学光及电磁波研究中心, 杭州 310027
一种新型的低成本、小体积的电磁驱动微机电系统可调光衰减器,可用于密集波分复用系统中各信道的动态增益平衡。该器件采用电磁线圈驱动绕100微轴转动的微反射镜,运动部件行程极小。驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间小于2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB。器件采用微细电火花加工技术制作,加工精度为微米量级,技术成熟,工艺简单,易于批量生产。采用有限元分析软件ANSYS对器件的结构建模,对电磁场及衰减曲线进行了理论分析,并与实测数据进行了比较,得出了相当满意的结果。
光纤通信技术 可调光衰减器 微机电系统 电火花加工 密集波分复用
