作者单位
摘要
1 武汉理工大学 光纤传感技术国家工程实验室, 武汉 430070
2 中国工程物理研究院, 四川 绵阳 621907
采用溶胶凝胶法制备纳米级WO3, 掺杂不同含量的氯铂酸并混合搅拌均匀, 再进行热处理, 将所得粉体均匀涂覆在光纤光栅周围, 制备出具有氢敏特性的光纤光栅传感器.实验中, 通过改变氯铂酸掺杂量和热处理温度并进行XRD物相分析得:随着Pt∶W的降低以及热处理温度的升高, WO3的结晶度不断提高;通入不同浓度的氢气对传感器进行氢敏性能测试发现, 经过300℃热处理, Pt∶W为1∶9时, 对4%浓度的氢气能达到15 s的响应速度, 最高有140 pm的中心波长变化, 多次重复通氢气, 重复性良好;当热处理温度达到500℃时, 材料对氢气已经不敏感.
离子交换 晶体结构 光纤光栅 氢敏 Ion exchange Pt/WO3 Pt/WO3 Crystal structure FBG Hydrogen sensitivity 
光子学报
2012, 41(9): 1036
作者单位
摘要
1 武汉理工大学 光纤传感技术中心,武汉 430070
2 中国工程物理研究院 表面物理与化学重点实验室,四川 绵阳 621907
采用磁控溅射方法在侧边抛磨的光纤光栅(D型光纤光栅)上溅射40 nm WO3Pd复合薄膜,制作了D型光纤光栅氢气传感器.40 nm WO3Pd复合薄膜是由5 nm的WO3、5 nm的WO3/Pd混合膜和30 nm的Pd 薄膜组成.实验中,首先采用射频溅射技术向D型光纤光栅溅射5 nm WO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5 nm WO3/Pd混合膜,最后用直流溅射技术溅射30 nm的Pd薄膜.SEM结果显示在多次通氢气后WO3Pd薄膜仍然具有较好的表面形貌,这说明WO3Pd复合薄膜具有较好的机械性能.实验结果表明:该氢气传感器具有较好的重复性,同镀有同样氢气敏感膜的普通FBG相比,D型光纤光栅的灵敏度提高了200%;在氢气体积浓度为6%时,D型光纤光栅传感器的波长变化为15pm.
D型光纤光栅 磁控溅射 WO3 Pd复合膜 氢气传感器 Dshaped fiber Bragg grating Magnetron sputtering WO3Pd composite film Hydrogen sensor 
光子学报
2011, 40(7): 1003

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