1 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084
2 北京至格科技有限公司，北京 100089
在基于衍射光栅光波导的增强现实近眼显示设备中，光栅的占空比均匀性对成像均匀性影响很大。提出一种提升全息光栅掩模占空比均匀性的罗艾镜曝光系统，该系统采用移动挡板和改变干涉场光强的方法，来补偿全息曝光时高斯光束光强不均匀导致的光栅掩模占空比不均匀。实验中使用该方法制备的光栅，其占空比的极差相比用传统罗艾镜曝光系统制作的光栅降低了66%以上；制成的衍射光波导片的纯色屏幕的均匀性至少提升30%。
光栅 全息曝光 占空比 衍射光波导 成像均匀性
1 北京至格科技有限公司，北京 100083
2 清华大学精密仪器系，北京 100084
衍射光波导是目前主流的实现增强现实近眼显示的技术方案，具有眼动范围大、体积小、量产性好等优点。但衍射光波导的一些关键参数的评价指标尚缺乏统一的定义。详细介绍了衍射光波导方案的关键参数和测量方法，通过明确这些关键参数来考察衍射光波导的优势和劣势，从而充分挖掘衍射光波导的技术潜力，实现更好的产品性能。
衍射光波导 增强现实 近眼显示 关键参数 激光与光电子学进展
2022, 59(20): 2011008
强激光与粒子束
2020, 32(12): 121006
Author Affiliations
Abstract
Department of Precision Instrument, State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Tsinghua University, Beijing 100084, China
This research proposes a simple and practical method to make low-stray-light gratings, where the substrate shifts about a 1 mm distance in the direction parallel or perpendicular to the exposure interference fringes. When the substrate shifts, a reference grating next to the substrate is used to adjust in real time the phase of the exposure interference fringes relative to the substrate. Shifting eliminates the exposure defects and therefore decreases the stray light of gratings. Several gratings are successfully made by using this method, which have straighter grooves, smoother surfaces, and lower stray light than gratings made in conventional interference lithography.
050.1950 Diffraction gratings 050.2770 Gratings 290.2648 Stray light Chinese Optics Letters
2017, 15(10): 100501
1 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
2 中国工程物理研究院 应用电子学研究所, 四川 绵阳 621900
介绍了一种应用于光纤激光光谱合束的高衍射效率多层介质膜偏振无关光栅的设计及制作,给出了设计参数、制作流程和最终制作的偏振无关光栅的测量结果,在1.044~1.084 μm波长范围内,实验测得的TE偏振光、TM偏振光的平均衍射效率分别为89.7%，93.8%。
衍射光栅 偏振无关光栅 多层介质膜光栅 光谱合束 diffraction grating polarization independent grating multilayer dielectric grating spectral beam combining 强激光与粒子束
2015, 27(11): 111013
北京清华大学 精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084
结合昆虫复眼运动神经具有的空间侧抑制机制，设计了一种新的复眼模型，并使用全硬件方法实现了该模型。与自相关的模拟量模型相比，该模型的数字部分采用触发响应模式，使系统具有很宽的速度测量范围；在此基础上，通过结合空间侧抑制网络，使得模型能够有效地减少背景光强不均匀、不稳定造成的错误判断。由于整个系统是完全实时并行的，所以能够处理高速运动情况。通过实验，验证了系统的可行性。
复眼 侧抑制 速度测量 compound eye lateral-inhibitory velocity measurement
清华大学精密仪器系精密仪器与机械国家重点实验室, 北京 100084
研究一种控制多层介质膜上的光刻胶光栅掩模占宽比(线宽与周期之比)的新方法。该方法基于下面的原理：如果某泄漏模在包层中的隐失尾较强,那么它的等效折射率受光刻胶光栅占宽比变化的影响就大,从而可以利用耦合角度来实时控制光栅占宽比。在光栅制作的显影阶段,采用实时监测技术,根据耦合角度和占宽比之间的关系预设入射光角度,在出现共振反常的时刻停止显影来控制占宽比。实验结果表明,固定适当的入射角度可以得到特定的占宽比;改变入射角度,占宽比按照预计的规律变化,因此定性地验证了这种占宽比控制方法的可行性。文中给出了监控装置和具体的实验方法,并讨论了误差来源和影响。
物理光学 光刻胶光栅 光栅波导 占宽比 实时监控技术
介绍了一种用于对干涉系统进行闭环控制的反馈系统,对该系统的工作原理和使用方法进行了详细的介绍.并且在麦克尔逊干涉仪中对该反馈系统进行了实验,得到了满意的结果,证明了该反馈系统的有效性.
闭环反馈 干涉仪 稳定性 close-loop feedback interferometer stability PZT PZT
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室, 北京 100084
在酒的在线检测中,需要一种既方便快捷又可以比较准确地反映酒的生产质量及一些生产参数的低成本检测仪器。液滴分析法是一种快速多功能的检测方法,能够快速地检测液体属性的细微差别。液滴分析法适用于酒的在线检测。介绍了液滴分析的构成、原理和一些实验结果。
液滴分析法 在线检测 酒
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室, 北京 100084
非球面镜具有优良的光学性能,在现代光学系统设计中广泛采用。在非球面镜的生产加工中,需要一种既方便快捷又准确可靠的测量一些特征参数的在线检测方法。顶点曲率半径是非球面镜加工、检测和光学系统装校中的一个重要参数。介绍了一种基于光线追迹原理的非球面镜顶点曲率半径的测量方法和一些实验结果。
精密工程测量 非球面镜 顶点曲率半径 光线追迹 在线检测
