1 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
集成电路与光刻机系统中通常会设计并使用很多小曲率半径的大陡度透镜,以实现大数值孔径,这对镀制于其表面的紫外薄膜的性能提出了很高的要求。本文分析了行星夹具转动过程中大陡度凸透镜从中心到边缘位置的薄膜沉积角度的变化规律,研究了MgF2膜层的折射率随沉积角度的变化规律,明确了大陡度凸透镜从中心到边缘位置的膜层折射率不均匀性对深紫外增透膜的影响。针对小曲率半径大陡度凸透镜表面的膜层沉积特性,通过升高基底温度提高了折射率分布的均匀性,为大陡度透镜膜层折射率不均匀性修正提供了理论和实验依据。
1 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
2 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室, 上海 201800
3 上海理工大学光学仪器与系统教育部工程研究中心, 上海 200093
线性渐变透过率薄膜元件是光刻系统中光可变衰减器的关键元件。采用电子束蒸发实现了近线性248 nm渐变透过率光学薄膜的设计与制备。通过对敏感度进行计算和优化,基于减反膜基础膜系实现了低敏感非规整膜系的设计。采用紫外光控-晶控组合的高精度膜厚监控措施,可使膜厚的控制精度达到0.3%,误差容忍度达到0.5%。在248 nm S偏振光照射下,采用JGS1熔融石英基片以及Al2O3和SiO2膜料制备的透射膜,在入射角为21°~35°的范围内实现了透过率从10%到97.8%的线性调控,满足光可变衰减器的性能需求。
薄膜 线性渐变透过率 薄膜制备
1 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海 201800
采用反应电子束蒸发技术在不同氧分压下制备了HfO2薄膜,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、椭圆偏振仪、X射线光电子能谱仪、1064 nm弱吸收测试仪、1064 nm激光1-on-1损伤测试系统等,对HfO2薄膜的结构、光学性能、化学组分、吸收性能、抗激光损伤特性和损伤形貌等进行了表征和分析。当沉积温度为200 ℃时,所制备的HfO2薄膜为单斜多晶结构,晶粒尺寸约为10 nm。随着氧分压升高,薄膜的氧化程度随之增大,由化学计量比缺陷主导的薄膜1064 nm弱吸收系数变小,同时薄膜结构变得疏松,折射率随之降低。深入研究后发现,在采用反应电子束蒸发技术制备HfO2薄膜时,提高氧分压有助于抑制膜内纳米吸收缺陷和基底亚表面裂纹,提高HfO2薄膜抗1064 nm激光损伤阈值,对制备出基于HfO2薄膜的高性能光学元器件具有重要的参考价值。
薄膜 反应蒸发 氧分压 抗激光损伤特性
Author Affiliations
Abstract
1 Department of Mechanical Engineering, Yangzhou University, Yangzhou 225009, China
2 Department of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjingare 210016, China
Optical grade thick diamond films are polished on two sides by electron discharge machining (EDM) are with a mechanical method. The infrared transmittivities of Y2O3/diamond films are investigated in detail. Results indicate that the average infrared transmittivity is improved from 68.82% to 82.42% after deposition of Y2O3 at 10-μm central wavelength, and from 67.98% to 82.45% at 8–12-μm wave-band. The coated films meet the demands of infrared window applications. Therefore, the performance of the optical-class diamond thick films used in an actual infrared window can provide reliable application for basic research.
抛光的金刚石厚膜 氧化钇涂层 红外透射率 160.4760 Optical properties 240.0310 Thin films 240.6700 Surfaces 310.6860 Thin films, optical properties Chinese Optics Letters
2010, 8(s1): 130
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,长春 130033
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
针对传统聚光系统聚光倍数较低并且需要复杂跟踪装置及机电控制的弊端, 对能否实现静态大角度接收太阳光的光学聚光元件进行了研究和设计.利用非成像原理及边缘光线原理进行编程建模, 设计了折射式及折反射式的太阳能聚光镜, 可满足大角度的入射及出射范围.通过光学软件ZEMAX以不同入射角度进行模拟.模拟结果表明, 大角度静态接收的聚光元件是可以实现的.
非成像光学 边缘光线原理 SMS方法 太阳能 光学设计 Nonimaging optics Edge-ray principle SMS method Solar energy Optical design
1 西安机器视觉研究发展中心，陕西 西安 710065
2 西安市春秋视讯技术有限责任公司，陕西 西安 710075
主要介绍机器视觉的典型应用，简要分析机器视觉的特点、优越性和应用分类，详细介绍了机器视觉技术在印刷行业、农业、工业、医学中的应用。并且分别举例说明。机器视觉的诞生和应用在理论和实际中均具有重要意义。
机器视觉 标签检测 字符识别 水果品质分级 缺损检测
