1 华东师范大学 电子工程系 极化材料与器件教育部重点实验室,上海 200241
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
3 温州医科大学 信息与工程学院生物医学工程学系, 浙江 温州 325035
采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同镧掺杂浓度BiGaO3(LxBGO, 0≤x≤0.1)薄膜.X-射线衍射(XRD)表明该属于正交晶系的多晶薄膜, 原子力显微镜(AFM)图像显示样品表面具有很好的平整性.采用椭圆偏振技术对其光学性质进行了详细的研究, 发现其光学常数符合Adachi色散模型.进一步发现其禁带宽度随着镧掺杂浓度的增加而增加, 该规律与理论预言相吻合.有关LxBGO材料的研究为铋基光电器件如紫外探测器的实现提供物理基础支持.
椭圆偏振光谱 光学性质 光学常数 光学禁带宽度 BiGaO3 BiGaO3 spectroscopic ellipsometry optical properties optical constants optical band gap
1 华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室, 上海 200241
2 华东师范大学电子工程系, 上海 200241
采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同Si(100)衬底温度下制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃下制备的薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜.通过椭圆偏振光谱仪测量了400～1100nm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学性质,采用双Lorentz振子色散关系及三相结构模型(Air/LSCO/Si)拟合获得了薄膜的光学常数.结果表明,薄膜的折射率随着衬底温度的升高而减小,然而在可见-近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大.这主要与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系.
脉冲激光沉积法 La0.5Sr0.5CoO3薄膜 椭偏光谱 光学常数 pulsed laser deposition La0.5Sr0.5CoO3 films spectroscopic ellipsometry optical constant
1 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室,上海,200083
2 河南大学物理系,河南,开封,475001
采用化学溶液分解法直接在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,研究了不同热处理气氛(空气和氧气)对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅(PZT)薄膜的影响.结果发现二种气氛得到的LaNiO3薄膜的电阻率相差较大,其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的1/2.对LaNiO3薄膜的导电机制进行了讨论.
退火气氛 LaNiO3薄膜 电阻率. annealing atmosphere LaNiO 3 thin films CSD CSD resistivity
