用氯化氙准分子激光分解Fe(CO)5在石英片上沉积铁薄膜.研究了激光能量密度、淀积时间对膜层特性的影响,获得最大淀积速率1.7nm/脉冲
XeCl准分子激光器 Fe(CO)5分解 Fe薄膜
本文分析了紫外准分子激光对有机材料的消融过程,用理论模型解释了每个激光脉冲对有机材料的消融量与入射激光能量密度之间的关系.对于有机玻璃.当入射激光能量密度较高时,双光子过程将起主要作用.最后讨论了消融率随有机材料吸收系数之间的关系,对吸收系数较小的材料,消融率随吸收系数改变有一个极大值.
紫外准分子激光 消融过程
