1 苏州科技大学, 江苏 苏州 215009
2 苏州慧利仪器有限责任公司企业研究生工作站, 江苏 苏州 215123
3 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
4 上海理工大学, 上海 200093
5 苏州维纳仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
针对平面干涉检测技术的检测精度受限于参考面面形精度的问题, 提出使用基于奇偶函数的高精度绝对检测方法消除干涉系统中参考面面形误差的影响。对旋转角度误差与旋转偏心误差对绝对检测方法测量精度的影响进行了仿真分析。利用商用菲索干涉仪, 设计和分析了绝对检测精度实验及重复性实验。仿真结果显示: 旋转角度误差在达到0.13°时, 测量误差PV值为0.000 1λ; 旋转偏心误差达到3 pixel时, 测量误差PV值为0.005λ。实验结果显示: 测得实际样品的绝对检测精度PV10值为0.041 5 λ, RMS值为0.008 7 λ, 小于常规干涉检测所得结果; 对同一平面两次独立的绝对检测结果进行点对点作差处理, 从而获得残差图, 其残差图PV10值为0.004 λRMS值为0.000 5 λ。实验结果表明了该方法的高重复性和有效性。
光学干涉测量 绝对检测 奇偶函数 面形精度 optical interferometry absolute test even or odd functions surface accuracy
