上海交通大学 电子信息与电气工程学院, 上海 200240
在先进工艺下,VLSI布线产生设计规则违例(DRC)的原因十分复杂,这使得全局布线的拥塞度不再能准确地反映DRC的分布。针对这个问题,提出了一种基于深度学习的预测布线违例分布的方法。该方法只使用布局阶段的引脚、线网和宏模块等版图信息作为特征和CSMOTE算法平衡数据集,无需进行全局布线,然后使用卷积神经网络对数据进行训练,最后用训练模型预测M2 short和cut group space布线违例的分布。该方法在一个采用先进工艺的真实工业设计上进行了测试。结果显示,该方法预测M2 short的准确率为93.4%,F1值为0.78; 预测cut group space的准确率为92.5%,F1值为0.78。
布线违例 深度学习 电子设计自动化 布局 布线规则检查 detailed routing violation deep learning electronic design automation routing design rule check
1 河南理工大学 计算机科学与技术学院, 焦作 454000
2 河南理工大学 物理与电子信息学院, 焦作 454000
针对单一显著性特征无法全面表达图像显著性致使显著性检测精度不高等问题, 本文提出了一种多特征融合的显著性检测算法。算法在高层先验知识基础上, 对靠近中心的超像素设置高显著值, 利用高斯分布求解中心先验; 在底层特征上融合图像的边界稀疏、全局对比度、颜色空间分布和超级像素差异等4种显著特征, 利用类间差异最大阈值对高低层特征进行线性和非线性融合, 最终得到高质量的显著图。在MSRA-1000、SED、SOD 3个公开的数据集上进行实验, 结果表明: 本文算法融合得到的显著图边缘清晰、显著区域突出均匀, 在有效抑制背景信息的同时所得显著图像视觉感知更好, 与其他显著性算法相比查全率和查准率上至少提高3.4%。
显著性检测 高层先验 底层特征 多特征融合 边界稀疏 超像素差异 significant detection high-level prior bottom feature multi-feature fusion sparse boundaries superpixel differences
上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 微米纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240
基于扭臂式静电驱动结构的基本模型, 在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下, 分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压, 得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电压的影响。结果表明, 在一定范围内, 随着上电极长度、上电极宽度的增加以及上下电极之间间距的减小, 空气阻尼作用对pull-in电压的影响逐步增大; 并且当上电极宽度增大或者上下电极之间间距减小到一定程度时, 空气阻尼作用力甚至可以与驱动的静电力达到同一数量级, 此时必须考虑空气阻尼作用的影响。
扭臂式静电驱动 能量法 力电耦合方法 pull-in电压 空气阻尼 torsion electrostatic micro-actuator energy method electro-mechanical coupling method Pull-in voltage air damping
在图像处理过程中,为了获取更精确的边缘轮廓,将直线插补运算与六边形图像结构相结合,提出了一种简单高效的边缘检测方法。先用高斯滤波器对图像进行滤波,再使用Sobel算子进行边缘检测,最后按给定阈值对边缘进行精确提取,经过这三个步骤完成图像的边缘检测。通过实验验证了六边形图像结构的Canny边缘检测算法比常见的Canny边缘检测方法更精确、更能抑制噪声;而且直线插补运算在图像边缘检测中具有较快的计算速度,比非线性插补计算效率高。
边缘检测 六边形结构 图像内插 高斯滤波器 edge detection hexagonal structure image interpolation Gaussian filtering
薄膜与微细技术教育部重点实验室、微米/纳米加工技术国家级重点实验室，上海交通大学 微纳科学技术研究院，上海 200240
在硅薄膜太阳电池中，灵活的光学设计可以实现表层的零反射损耗，增大吸收层中光的透射率，从而提高薄膜太阳电池的光收集能力。在薄膜太阳电池吸收层表面设计了矩形介质光栅。利用严格耦合波理论和模态传输理论研究了光栅结构参数对反射率的影响。考虑到AM1.5G太阳能光谱和a-Si的吸收光谱，光栅参数进一步优化。由于微加工的误差，使得矩形光栅变成梯形光栅，必然会影响硅薄膜太阳电池表面反射率。研究结果表明，长周期光栅同样可以实现低反射率，在工艺上也容易实现。采用梯形光栅可进一步降低表面反射率，并且在太阳光入射角为-40°~+40°的范围内保持在6%以下。
硅薄膜太阳电池 光学设计 光栅 反射率 thin-film silicon solar cells optical design gratings reflectivity
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240
研究了超陷光黑硅表面圆锥阵列结构的设计。将圆锥结构分为五层，利用等效媒质理论进行了参数设计。考虑了硅材料折射率随波长的变化，用严格耦合波理论对不同入射角，圆锥阵列结构高度以及占空比时的反射率进行了计算分析。发现，圆锥阵列超陷光结构的周期为135 nm,高度为480 nm时，在0°~60°入射角范围内，对波长为300~1200 nm的入射光的反射率都小于5%。
衍射 黑硅 等效媒质理论 超陷光 圆锥阵列结构 光学学报
2011, 31(10): 1005007
上海交通大学 微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室、微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240
利用光子晶体(PC)的光子禁带和光栅衍射效应可以提高发光二极管(LED)的出光效率,扩大LED的应用范围。在GaN基蓝光LED的GaN层上引入二维正方排列圆柱形PC,采用时域有限差分方法研究光子晶体的几何参数的随机扰动对LED出光效率的影响,利用禁带理论分析了其机理。
光电子学 光子晶体 时域有限差分 发光二极管 禁带 随机扰动
湖北工业大学湖北省现代制造质量工程重点实验室,湖北,武汉,430068
利用计量光栅的栅距作为基准刻线,对二维精密工作台的运动位移进行测量,提出了一种新的位移测量方法.通过CCD(charge coupled device)获取光栅刻线图像,对图像进行分析处理,计算出栅距与图像像素之间的映射系数,再通过对工作台移动前后光栅图像的对比,采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差,从而计算出工作台的实际运行位移量.
光栅 驱动控制 位移测量 李萨如图 图像处理
湖北工业大学,机械工程学院,湖北,武汉,430068
将计量光栅作为标准刻线,应用到对微细物体高精度定位的工作台上,并提出了一种新的直接获取运动位移的方法.调整光路使CCD获取清晰的光栅图像;对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系:再对工作台移动前后的光栅图像进行对比,采用基于X-Y图的相位差比率算法获取像素位置差;从而计算出工作台的实际运行位移.实验结果表明,该方法能简单快速地实现微电子加工领域亚像素级的测量.
位移测量 光栅刻线 图像处理 X-Y图
