Author Affiliations
Abstract
1 Research Center for Space Optical Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China
2 Institute of Opto-Electronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China
3 Center for Composite Material, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China
Wolter I collector is the best collector for extreme ultraviolet (EUV) lithography, which has a series of nested mirrors. It has high collection efficiency and can obtain more uniform intensity distribution at the intermediate focus (IF). A new design with the calculation sequence from the outer mirror to the inner one on the premise of satisfying the requirements of the collector is introduced. Based on this concept, a computer program is established and the optical parameters of the collector using the program is calculated. The design results indicate that the collector satisfies all the requirements.
220.3740 Lithography 340.7480 X-rays, soft x-rays, extreme ultraviolet (EUV) 
Chinese Optics Letters
2011, 9(5): 052201
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系,哈尔滨 150001
2 哈尔滨工业大学应用物理系 哈尔滨 150001
从理论上分析了分数相关的分数级次对相关输出面能量分布的影响,利用数值模拟方法,对分数相关尺度畸变不变模式识别特性进行了深入的讨论,并与传统相关器进行了比较。结果表明在尺度畸变不变模式识别中,分数相关方法比传统相关方法有着更强的识别能力。
光学相关 尺度畸变不变模式识别 分数傅里叶变换 光学模式识别 
中国激光
2001, 28(5): 429
作者单位
摘要
哈尔滨工业大学电子科学与技术系,黑龙江,哈尔滨,150001
在红外成像系统中,任何虚假和不需要的信号统称为噪声。噪声的存在干扰了有用信号的探测,减少了系统的作用距离。从信号和噪声的统计特性出发,文中详细推导了虚警概率与门限信噪比、探测概率与信噪比的关系,基于此推导了红外成像系统对点源目标的作用距离公式。对面源目标,重新确定了温差的概念,综合考虑目标的面形尺寸、观察等级和探测概率的要求,以MRTD为基准计算作用距离。编制了相应的软件,可以快速计算出不同探测概率下的作用距离。最后给出了计算实例。
红外成像系统 信噪比 虚警概率 探测概率 作用距离 Imaging infrared system SNR False-alarm probability Detection probability Operating range 
红外与激光工程
2001, 30(1): 1
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系, 哈尔滨 150001
2 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
提出一种航天遥感器里奇-克雷蒂安(R-C)系统遮光罩的设计方法, 并给出其数值计算过程, 以确定R-C系统遮光罩的尺寸和口径。 同时, 依据R-C系统的特点, 提出其杂散辐射的计算方法, 用以估计遮光完善R-C系统的杂光水平。 通过计算得到的系统的点源透过率, 可对系统的杂散辐射抑制能力进行评价。
遮光罩 杂散辐射 点源透过率 
光学学报
2000, 20(6): 821
作者单位
摘要
1 哈尔滨工业大学航天学院光电工程系, 哈尔滨 150001
2 长春光学精密机械学院光电工程系, 长春 120022
对一百年来沿用的传统像差理论提出了新的见解和修改意见,指出转面倍率与像差系数表达式中的问题。
球差 彗差 正弦条件 
光学学报
1996, 16(10): 1516

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