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光谱学
氮化硼薄膜的脉冲激光沉积
毕兆琪 张兵临 李运钧 杨全玖 
作者单位
摘要
河南省基础及应用科学研究所, 郑州 450052
用Q开关YAG激光器的1.06 μm的脉冲激光在硅及玻璃衬底上沉积了氮化硼薄膜。做了SEM,XRD,红外透射谱和紫外一可见透射谱等测试。确认为六方氮化硼(h-BN)薄膜.并测出其禁带宽度、晶格常数等。
六方氮化硼薄膜 Q开关YAG激光器 脉冲激光沉积 
PDF全文 Full Text
中国激光
1995, 22(1): 65
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