1 郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所, 郑州 450052
2 中国科学院安徽光机所, 合肥 230031
利用脉冲激光沉积技术制备出非晶碳-聚酰亚胺复合薄膜,并观察到其场发射阈值场强(4V/μm)比类金刚石薄膜(>12V/μm)有较大的降低,最大发射电流密度为1.2mA/cm～2.利用透明导电薄膜阳极技术可观察电子在薄膜阴极表面的发射位置.并对该复合薄膜的场电子发射机理进行了初步探讨.实验表明该复合薄膜有可能作为一种新型的场发射冷阴极材料.在平面显示器件中得到应用.
脉冲激光沉积 非晶碳-聚酰亚胺复合薄膜 场致电子发射 预击穿
用Q开关YAG激光器的1.06 μm的脉冲激光在硅及玻璃衬底上沉积了氮化硼薄膜。做了SEM,XRD,红外透射谱和紫外一可见透射谱等测试。确认为六方氮化硼(h-BN)薄膜.并测出其禁带宽度、晶格常数等。
六方氮化硼薄膜 Q开关YAG激光器 脉冲激光沉积
